陈素君

作品数:6被引量:10H指数:2
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供职机构:北京北仪创新真空技术有限责任公司更多>>
发文主题:分子泵主泵真空系统真空镀膜设备低温泵更多>>
发文领域:一般工业技术电子电信自动化与计算机技术更多>>
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复合分子泵转子离心变形与热变形的有限元分析被引量:3
《真空》2011年第1期51-53,共3页郁晋军 张军安 刘敏强 陈素君 
本文利用有限元分析软件ANSYS12.0对复合分子泵转子的离心变形与热变形进行了分析。通过施加惯性载荷和温度载荷,得到转子的离心变形与热变形。对不同载荷下分析结果的比较,了解了惯性载荷与温度载荷对分子泵转子变形影响大小。通过分...
关键词:分子泵 离心变形 热变形 
用于制备ZnO薄膜的金属有机化学气相沉积设备的研制
《真空》2010年第6期15-18,共4页安其 王红雪 陈素君 
介绍了一种制备ZnO薄膜的金属有机化学气相沉积(MOCVD)设备,制备的ZnO薄膜主要用作太阳能电池的背反射电极。该设备的极限压力可达5×10-5 Pa,膜厚均匀性偏差在5%以内,薄膜电阻率约为10-2Ω.cm。本文叙述了设备的用途,技术性能,工作过...
关键词:金属有机化学气相沉积(MOCVD) ZnO透明导电膜 薄膜太阳电池 电阻率 
镀膜设备真空系统主泵的配置被引量:1
《真空》2010年第1期7-10,共4页陈素君 杨静 
真空系统是真空镀膜设备的主要组成部分,其主泵的选择对真空性能影响很大,真空镀膜设备的发展要求真空性能清洁无油,动态抽速大.传统的以油扩散泵为主泵的设备不能满足要求,本文叙述了油扩散泵、分子泵及低温泵的特点及北京北仪创新真...
关键词:真空镀膜设备 真空系统 主泵 油扩散泵 分子泵 低温泵 
涡旋真空泵——一种具有发展潜力的无油泵被引量:5
《真空》2009年第1期42-46,共5页杨静 陈素君 
涡旋真空泵是一种新型的无油直排大气机械泵,它具有动力传递简单、气体流动损失小、运行平稳、结构简单紧凑、密封性能好、消耗功率小、振动噪声低、可靠性高等优点。本文简要介绍了涡旋泵的发展过程、工作原理、结构特点、设计和工艺...
关键词:涡旋 真空泵 动涡旋盘(转子) 静涡旋盘(定子) 
真空蒸发镀膜设备性能的改进被引量:1
《真空》2008年第6期40-43,共4页陈素君 陈月增 
为提高镀膜设备的效率及可靠性,以适应技术发展需要,对真空镀膜设备的设计制造(重点是箱式前开门型设备)方面,对镀膜室的布局,基片装载量及真空系统的配置和电气控制等方面进行了适当的改进,提高挡次。并尽可能留有增加可选配功能部件...
关键词:真空蒸发镀膜设备 真空性能 装载量 自动控制 多功能 
真空技术在射线源注油中的应用
《真空》2008年第4期38-40,共3页陈月增 赵益萍 郝刚 陈素君 王鸿吉 
本设备可对注油机的储油箱、拉模箱、溢油箱提供真空环境并对射线源抽真空和注油,注油过程中对各储油室中的绝缘油进行真空脱气、脱水,以确保注油前的性能指标,使油品达到军标、国标、国际标准。使真空技术在射线源注油技术中得到了很...
关键词:真空 注油 平衡调温 射线源 
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