安其

作品数：4被引量：6H指数：2
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供职机构：北京北仪创新真空技术有限责任公司更多>>
发文主题：PECVD非晶硅太阳能电池等离子体增强微晶硅更多>>
发文领域：一般工业技术电子电信理学动力工程及工程热物理更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》《真空》更多>>
所获基金：上海市引进技术的吸收与创新计划项目上海市博士后科研资助计划资助更多>>
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等离子体增强化学气相沉积设备的研制被引量：4
《真空》2012年第1期52-56,共5页安其 
本文介绍非晶硅薄膜太阳能电池生产线的核心设备———等离子体增强化学气相沉积(PECVD,Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)系统,并阐述了其重要地位。非晶硅太阳能电池制造的关键技术是非晶硅薄膜的制备,目前最常见的制备方法...
关键词：非晶硅 太阳能电池 PECVD 
聚酯振膜镀膜用磁控溅射设备
《真空》2011年第2期6-9,共4页安其 
本文介绍了一种在PET材料上镀制Ni膜的磁控溅射镀膜设备的结构及特点,解决了PET材料无法在高温环境中镀膜的问题。具有操作方便、成本低、生产效率高、膜层质量好及膜层制备可重复性好等特点。在实际生产中取得了良好的效果,有广阔的应...
关键词：PET 镍膜 磁控溅射 
金属屏蔽罩对柔性衬底微晶硅太阳电池特性的影响被引量：2
《真空科学与技术学报》2011年第1期124-127,共4页刘成 安其 周丽华 钱子勍 叶晓军 陈鸣波 
上海市博士后科研资助计划项目(08R21420200);上海市引进技术的吸收与创新计划项目(07X12-016)
通过改变硅烷浓度,采用等离子体增强化学气相沉积方法制备了在有无金属屏蔽罩两种情况下的系列微晶硅太阳电池,发现将金属屏蔽罩去除后,本征微晶硅材料的沉积速率提高约一倍,微晶相至非晶相的硅烷浓度转变点有所变化。将沉积条件应用于...
关键词：柔性衬底 屏蔽罩 微晶硅 非晶硅/微晶硅 叠层太阳电池 
用于制备ZnO薄膜的金属有机化学气相沉积设备的研制
《真空》2010年第6期15-18,共4页安其 王红雪 陈素君 
介绍了一种制备ZnO薄膜的金属有机化学气相沉积(MOCVD)设备,制备的ZnO薄膜主要用作太阳能电池的背反射电极。该设备的极限压力可达5×10-5 Pa,膜厚均匀性偏差在5%以内,薄膜电阻率约为10-2Ω.cm。本文叙述了设备的用途,技术性能,工作过...
关键词：金属有机化学气相沉积(MOCVD) ZnO透明导电膜 薄膜太阳电池 电阻率 
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