创建微电子专业实验室的探索与实践  

Exploration and practice of building microelectronic specialty laboratories

作　　者：杨依忠[1] 解光军[1] 易茂祥[1] 王墨林[1] 

机构地区：[1]合肥工业大学应用物理系

出　　处：《实验技术与管理》2009年第12期137-138,143,共3页Experimental Technology and Management

基　　金：安徽省高校青年教师项目(2008jq1004);合肥工业大学科学研究发展基金(061006F);合肥工业大学教学研究项目(xyb2007022);合肥工业大学学生创新基金(XS08083)资助

摘　　要：微电子技术发展对创新型人才的培养提出了迫切要求，与之相应的实验室建设及实验教学有着极其重要的作用。详细介绍了微电子专业实验室建设方面的探索性工作。EDA实验室和微电子器件、工艺及材料综合实验室的建成，为提高学生的实践及创新能力提供了条件，也满足了教师从事科研工作的需要。The development of microelectronic technology has brought forward the urgent requirement of foste ring innovative talents. Accordingly, both the laboratory building and experimental teaching play a great role. Exploratory work about building the microelectronic laboratory has been introduced in detail. The foundation of EDA laboratory and microelectronic devices, processes and materials complex laboratory not only provides the conditions to improve the students＇ abilities of practice and creativity, but also meets the teachers＇ require ment of scientific research.

关 键 词：微电子的 实验室建设 实验教学 

分 类 号：G482[文化科学—教育学]