市场和产品  

作　　者：王玲 王淑华 

出　　处：《微纳电子技术》2010年第1期64-64,共1页Micronanoelectronic Technology

关 键 词：产品 CMOS兼容 机械寿命 可靠性要求 光刻掩模 投影设备 SIGE 专利技术 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学] TP212.2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]