用于微型光谱仪的硅基多级微反射镜设计与制作研究  

Design and fabrication of micro multi-mirrors based on silicon for micro-spectrometer

作　　者：王波[1,2] 梁中翥[1] 孔延梅[1,2] 梁静秋[1] 付建国[1,2] 郑莹[1,2] 朱万彬[1] 吕金光[1,2] 王维彪[1] 裴舒[1] 张军[3] 

机构地区：[1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,长春130033 [2]中国科学院研究生院,北京100049 [3]暨南大学光电工程系,广州510632

出　　处：《物理学报》2010年第2期907-912,共6页Acta Physica Sinica

基　　金：国家高技术研究发展计划(批准号:2009AA04Z315);国家自然科学基金(批准号:60977062)资助的课题~~

摘　　要：提出了一种基于微光机电系统技术实现的空间调制方式的微型傅里叶变换光谱仪,介绍了其分光干涉系统结构及工作原理.对其核心部件多级微反射镜的制作方法进行了研究,采用硅在KOH溶液中的各向异性腐蚀方法制作多级微反射镜,硅腐蚀后形成的(111)反射面的表面粗糙度均方根小于10nm.A micro-spectrometer without moving parts that can be manufactured through micro-opto-electro-mechanical system techniques is developed, and the interference system is introduced. The fabrication of the micro multi-mirrors, which is the core part of the system, is investigated and wet etching of silicon in KOH solution is testified to be a good method. The root mean square surface roughness of the reflect surface made up of Si planes （111） through wet etching is less than 10 nm.

关 键 词：傅里叶变换光谱仪 多级微反射镜 微光机电系统 空间调制 

分 类 号：TH744.1[机械工程—光学工程]