郑莹

作品数：3被引量：16H指数：2
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：厚膜基片上光倒装空间调制更多>>
发文领域：机械工程理学电子电信更多>>
发文期刊：《光谱学与光谱分析》《物理学报》《光学学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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空间调制傅里叶变换红外光谱仪多级微反射镜倾斜误差分析被引量：2
《光谱学与光谱分析》2012年第7期1999-2002,共4页郑莹 梁静秋 梁中翥 
国家自然科学基金项目(61027010;60977062);国家(863计划)(2009AA04Z315)资助
空间调制傅里叶变换红外光谱仪无可动部件,系统稳定而紧凑,而且程差可控,可实现在线监测和实时检测。多级微反射镜是光谱仪干涉系统的关键器件,其在系统中的位置精度对光谱仪性能影响很大。本文对多级微反射镜的倾斜误差引起的光程差变...
关键词：傅里叶变换 空间调制 红外光谱仪 多级微反射镜 误差分析 
红外光谱仪多级微反射镜模拟分析及制作研究被引量：6
《光学学报》2011年第12期220-224,共5页郑莹 梁中翥 梁静秋 
国家863计划(2009AA04Z315);国家自然科学基金(60977062;61027010)资助课题
随着环境科学、气象监测和空间探测等前沿基础研究领域的发展,可便携、实时监测的光谱仪器的需求变得更加迫切。以多级微反射镜为关键器件的空间调制微型傅里叶变换红外光谱仪体积小、无可动部件,可实现实时检测与在线监测。模拟分析了...
关键词：光学设计与制造 傅里叶光学 多级微反射镜 空间调制 阶梯高度 表面粗糙度 
用于微型光谱仪的硅基多级微反射镜设计与制作研究被引量：10
《物理学报》2010年第2期907-912,共6页王波 梁中翥 孔延梅 梁静秋 付建国 郑莹 朱万彬 吕金光 王维彪 裴舒 张军 
国家高技术研究发展计划(批准号:2009AA04Z315);国家自然科学基金(批准号:60977062)资助的课题~~
提出了一种基于微光机电系统技术实现的空间调制方式的微型傅里叶变换光谱仪,介绍了其分光干涉系统结构及工作原理.对其核心部件多级微反射镜的制作方法进行了研究,采用硅在KOH溶液中的各向异性腐蚀方法制作多级微反射镜,硅腐蚀后形成的...
关键词：傅里叶变换光谱仪 多级微反射镜 微光机电系统 空间调制 
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