Cz硅单晶中氧含量轴向分布的测试研究  

作　　者：梁洪[1] 

机构地区：[1]峨嵋半导体材料厂,所,峨眉山市614200

出　　处：《四川有色金属》1998年第4期19-22,共4页Sichuan Nonferrous Metals

摘　　要：本文从C_z硅单晶中氧含量的测试实验中找出了我厂4英寸电路级C_z硅单晶中氧的轴向分布规律,为生产检测中按规定氧含量切割单晶提供了准确的实验数据.另外,本文还对影响C_z硅单晶氧含量及轴向分布的因素作了初步的探讨.

关 键 词：硅单晶 氧含量 轴向分布 直拉硅单晶 

分 类 号：TN304.12[电子电信—物理电子学]