纵向结构真空磁敏传感器的原理和制造  

The Principle and Fabrication of Vertical Vacuum Magnetic Field Sensor

作　　者：陈春辉[1] 范忠[1] 刘新福[1] 李琼[1] 徐静芳[1] 杨根庆[2] 

机构地区：[1]华东师范大学电子科学技术系,上海200062 [2]中科院上海冶金所传感技术国家重点实验室,上海200050

出　　处：《华东师范大学学报（自然科学版）》1998年第4期56-62,共7页Journal of East China Normal University(Natural Science)

摘　　要：该文介绍了用场发射阵列作为电子源的纵向磁敏感传感器（VerticalFieldEmissionArraysMasneticFieldSensor－VFEAMFS）的工作原理，分析了这种磁敏传感器的灵敏度，并阐述了VFEAMFS器件的制造和实验结果以及器件的基本工作参数和提高灵敏度的主要措施。This paper presented the primary operation principle of Vertical Field Emitter Arrays Magnetic Field Sensor (VFEAMFS), the analysis of its sensibility, the fabrication process and experimental results. The basic working parameters and the methods for improving the sensibility of VFEAMFS are achieved. The theoretical analysis and experimental results of the VFEAMFS show that it should have a good sensibility and applicability.

关 键 词：磁敏传感器 纵向结构 VFEAMFS 真空磁敏传感器 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]