提高精密工作台定位精度的温度补偿研究  

Research of precision positioning system based on temperature error compensation

作　　者：姜克壮[1] 程维明[1] 欧阳航空[1] 

机构地区：[1]上海大学机电工程与自动化学院精密仪器及机械系,上海200072

出　　处：《机械设计与制造》2010年第3期112-114,共3页Machinery Design & Manufacture

基　　金：国家"863"高技术研究发展计划资助项目(2002AA404450);教育部高等学校重点学科建设资助项目(Y0102);上海市重点学科建设资助项目(BB67)

摘　　要：精密定位工作台温度的变化直接影响工作台的定位精度。通过建立精密定位工作台热膨胀模型,分析工作台在不同固定方式下的温度变化对定位精度的影响,给出了基于温度精密测量的工作台定位精度实时补偿方法,并通过实验对补偿方法的效果进行了验证,证明方法有十分明显的补偿效果。With the accuracy improvement af positioning stage,environmental affection have become one of the vital factors which can not be ignored. By establishment driving system mode of precision positioning stage and analyse temperature variation effecting on it,real-time error compensation based on precise temperature measurement can be concluded.

关 键 词：精密定位工作台 温度 误差补偿 定位精度 

分 类 号：TH16[机械工程—机械制造及自动化]