精密定位工作台

作品数：19被引量：71H指数：5
导出分析报告
相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>
相关作者：张大卫田延岭贾晓辉程维明王勇更多>>
相关机构：天津大学上海大学哈尔滨工业大学苏州迈客荣自动化技术有限公司更多>>
相关期刊：《上海工程技术大学学报》《光学精密工程》《中国工程机械学报》《中国机械工程》更多>>
相关基金：国家自然科学基金上海市教育委员会重点学科基金天津市自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
浅谈三自由度精密定位工作台设计与制造工艺技术
《智能城市》2017年第10期199-199,共1页陈天宇 
精密定位工作台是光刻系统的核心,在实践加工过程中,工作台定位精度与设备对准精度、图形加工时的位移精度等密切相关。定位精度高低会影响产品生产质量。文章从设计理论基础入手,对三自由度精密定位工作台设计及工艺技术进行了分析,最...
关键词：三自由度 精密定位工作台 工艺技术 
温度对精密定位工作台的影响及其补偿
《上海工程技术大学学报》2011年第3期191-194,共4页程维明 姜克壮 孙麟治 
教育部高等学校重点学科建设资助项目(Y0102);上海市重点学科建设资助项目(BB67)
温度变化对于大行程、高精度精密定位平台的精度有较大的影响,为此,提出了一种基于定位工作台热膨胀模型的实时温度补偿方法.试验结果表明,该补偿方法可将因温度影响而产生的工作台漂移均方根值降低80%以上,并且方法简单可靠,易实现实...
关键词：精密定位 热膨胀 温度 补偿 
基于虚功原理的3-RRPR柔性精密定位工作台动力学分析被引量：22
《机械工程学报》2011年第1期68-74,共7页贾晓辉 田延岭 张大卫 
国家自然科学基金(50705064);天津市自然科学基金(08JCYBJC01400)资助项目
为了实现柔性精密操作系统的高频控制,提出一种新型空间柔性并联精密定位工作台系统,该工作台采用多个压电陶瓷驱动方式,通过半圆形凹槽单自由度柔性铰链的弹性变形实现末端执行件3平动自由度的主动调整。根据机构伪刚体模型,采用矢量...
关键词：动力学 柔性机构 固有频率 虚功原理 
三自由度精密定位工作台的设计与仿真
《压电与声光》2010年第5期803-806,共4页王宏峰 陈道炯 刘巍 
上海市教委重点学科建设基金资助项目(J50503)
设计一种以压电陶瓷为驱动,通过柔性机构放大输出位移的精密定位工作台。给出了该精密定位工作台的结构模型,建立了精密定位工作台的位置输入输出方程,分析和计算了柔性铰链微位移放大机构的位移放大倍数。通过仿真确定工作台各自由度...
关键词：柔性铰链 微动工作台 压电陶瓷驱动器 微位移放大机构 
三自由度精密定位工作台工作空间分析及优化被引量：2
《兵工学报》2010年第5期624-630,共7页贾晓辉 张大卫 田延岭 
国家自然科学基金资助项目(50705064);天津市自然科学基金资助项目(08JCYBJC01400)
针对纳米压印光刻技术(NIL)过程中的纳米级空间定位要求,设计了一种采用柔性并联构型和压电陶瓷驱动的三自由度精密定位工作台。基于伪刚体(PRB)模型理论将柔性铰链等效为理想转动副和线性扭簧,建立了精密定位平台的PRB模型,并以此分析...
关键词：机械学 纳米压印光刻技术 精密定位工作台 工作空间分析 优化设计 
三自由度精密定位工作台的设计与运动学分析被引量：3
《天津大学学报》2010年第5期457-463,共7页贾晓辉 张大卫 
国家自然科学基金资助项目(50705064);天津市自然科学基金资助项目(08JCYBJC01400)
针对精密柔性工作台多自由度高精度运动的需求,设计了一种采用柔性并联构型和压电陶瓷驱动的三自由度定位平台,通过建立的伪刚体模型进行运动学正解分析,并引入修正系数消除长杆柔性及柔性铰链中心偏移对工作台位移输出的影响,进一步提...
关键词：压印光刻 机构设计 运动学建模 
提高精密工作台定位精度的温度补偿研究被引量：2
《机械设计与制造》2010年第3期112-114,共3页姜克壮 程维明 欧阳航空 
国家"863"高技术研究发展计划资助项目(2002AA404450);教育部高等学校重点学科建设资助项目(Y0102);上海市重点学科建设资助项目(BB67)
精密定位工作台温度的变化直接影响工作台的定位精度。通过建立精密定位工作台热膨胀模型,分析工作台在不同固定方式下的温度变化对定位精度的影响,给出了基于温度精密测量的工作台定位精度实时补偿方法,并通过实验对补偿方法的效果进...
关键词：精密定位工作台 温度 误差补偿 定位精度 
三自由度精密定位工作台的设计与仿真被引量：3
《现代制造工程》2009年第3期39-42,共4页张建瓴 陈万银 可欣荣 魏德仙 洪添胜 
研究设计一种以压电陶瓷为驱动器,柔性铰链机构为导轨的精密定位工作台。分析和计算柔性铰链微位移放大机构的位移放大倍数和静态刚度,建立精密定位工作台的输入输出方程,确定微定位工作台各自由度的变形量与压电陶瓷驱动器伸缩量之间...
关键词：柔性铰链 微动工作台 压电陶瓷驱动器 微位移放大机构 
利用补偿提高精密定位平台的定位精度被引量：13
《光学精密工程》2008年第5期884-888,共5页程维明 孙麟治 章海涛 
国家“863”高技术研究发展计划资助项目(No.2002AA404450);教育部高等学校重点学科建设资助项目(No.Y0102);上海市重点学科建设资助项目(No.BB67)
运用反相补偿法原理,从误差曲线中分离出系统误差并与其反相曲线叠加以消除系统误差的影响。给出了对精密定位平台宏动工作台和微动工作台进行补偿的具体实例,补偿后定位误差分别从17.4μm改善到1.3μm和从137.6nm改善到22.2 nm。理论...
关键词：精密定位工作台 系统误差 反相补偿法 
基于神经网络的精密定位工作台建模方法
《信息技术与信息化》2008年第3期56-57,共2页魏强 康英杰 胡承忠 张玉林 
泰山学院科研计划项目(YOT-202)
压电陶瓷的迟滞非线性使得难以用传统方法获取精确而且实时的数学模型,为了提高精密定位工作台的模型精度,提出了一种基于神经网络的建模方法。分析了定位系统的结构和特性,利用神经网络的自学习能力,建立起能够在线调整的网络模型。在...
关键词：精密工作台 压电陶瓷 系统辨识 神经网络 
全选清除导出
共2页<12>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部