浅谈三自由度精密定位工作台设计与制造工艺技术  

作　　者：陈天宇 

机构地区：[1]安徽理工大学机械工程学院,安徽淮南232001 [2]安徽高速传媒有限公司,安徽合肥230000

出　　处：《智能城市》2017年第10期199-199,共1页Intelligent City

摘　　要：精密定位工作台是光刻系统的核心,在实践加工过程中,工作台定位精度与设备对准精度、图形加工时的位移精度等密切相关。定位精度高低会影响产品生产质量。文章从设计理论基础入手,对三自由度精密定位工作台设计及工艺技术进行了分析,最后对定位工作台精度进行实验。

关 键 词：三自由度 精密定位工作台 工艺技术 

分 类 号：TG665[金属学及工艺—金属切削加工及机床]