纳米压印光刻技术

作品数：15被引量：33H指数：3
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相关作者：周雷司卫华张俊董晓文李洪珠更多>>
相关机构：中国科学院华中科技大学淮阴工学院中国电子科技集团公司更多>>
相关期刊：《中国机械工程》《科技与企业》《现代工业经济和信息化》《电子工业专用设备》更多>>
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负性光刻胶在纳米压印光刻技术的应用前景
《现代工业经济和信息化》2024年第7期135-137,共3页杨志伟 吕薪羽 
吉林工业职业技术学院2023年度教育学会教学类课题“‘互联网+’背景下的高职智能制造技术类数控技术专业教学模式的创新与实践”(23jyy02)的研究成果之一;2024年度吉林省教育厅科学研究项目“新型自加热复合纳米压印膜的制备及应用”(JJKH20241130KJ)。
光刻技术在微纳米制造领域具有关键作用,而负性光刻胶因其低成本、高黏度的特点备受青睐。然而,负性光刻胶的分辨率限制在光刻线宽小于3μm时成为制约其应用的主要问题。结合纳米压印光刻技术的发展,探讨了负性光刻胶在纳米压印光刻领...
关键词：光刻技术 负性光刻胶 纳米压印光刻技术 分辨率限制 微纳米制造 
纳米压印光刻技术在中国半导体领域的应用与挑战被引量：2
《中国科技产业》2024年第6期50-53,共4页杨志伟 
2024年度吉林省教育厅科学研究项目“新型自加热复合纳米压印膜的制备及应用”(JJKH20241130KJ)。
光刻技术作为半导体制造的核心工艺,对提高集成电路(IC)的功能性和复杂性起着至关重要的作用。随着半导体行业对更高分辨率的追求,传统的光刻技术面临着光源波长与成本效益的限制。纳米压印光刻(Nanoimprint lithography,NIL)技术作为...
关键词：纳米压印光刻 光刻机 半导体制造 技术突破 产业进步 
下一代光刻技术
《科技与企业》2015年第13期210-210,共1页仲冠丞 
本文从多方面对下一代光刻技术做了介绍和分析,重点描述了纳米压印光刻技术、极紫外光刻技术、无掩模光刻技术、原子光刻技术、电子束光刻技术等的原理、现状和优缺点,并展望了未来数十年的主流光刻技术。
关键词：下一代光刻技术 纳米压印光刻技术 极紫外光刻技术 无掩模光刻技术 原子光刻技术 电子束光刻技术 
纳米压印光刻技术
《国外科技新书评介》2014年第3期15-15,共1页周伟民 杜利东 
近年来纳米压印技术迅猛发展，已引起业界广泛关注。纳米压印是一种全新的纳米图型复制方法，利用不同材料之间的杨氏模量差，使两种材料之间相互作用来完成图型的复制转移。与传统的光刻工艺相比，压印技术不是通过改变抗蚀剂的化学特...
关键词：纳米压印技术 光刻技术 杨氏模量 相互作用 光刻工艺 化学特性 抗蚀剂 图形化 
纳米压印光刻技术的研究与发展被引量：2
《陕西理工学院学报（自然科学版）》2013年第5期1-5,9,共6页陈建刚 魏培 陈杰峰 赵知辛 何雅娟 
国家863高技术研究发展计划资助项目(2011AA100507);陕西省教育厅2011年专项科研项目(11JK0549);陕西理工学院2012年校级横向项目(12SXLG4250485)
介绍纳米压印光刻技术的研究现状和发展状况,分析常用的热压印(Hot Embossing Lithography,HEL)、紫外固化压印(Ultra Violet Nanoimprint Lithography,UV-NIL)及微接触压印(Micro Contact Printing,μ-CP)三种光刻的工艺过程。探讨纳...
关键词：纳米压印 工艺过程 图形质量 关键问题 
纳米压印光刻技术及其发展现状
《纳米科技》2012年第3期80-81,共2页李洪珠 
纳米压印光刻技术的研究始于普林斯顿大学纳米结构实验室Stephen Y．Chou教授，是将一具有纳米图案的模版以机械力（高温、高压）在涂有高分子材料的硅基板上等比例压印复制纳米图案，其加工分辨力只与模版图案的尺寸有关，而不受光学...
关键词：光刻技术 纳米压印 纳米图案 普林斯顿大学 光学光刻 高分子材料 微光学元件 掩模版 
三自由度精密定位工作台工作空间分析及优化被引量：2
《兵工学报》2010年第5期624-630,共7页贾晓辉 张大卫 田延岭 
国家自然科学基金资助项目(50705064);天津市自然科学基金资助项目(08JCYBJC01400)
针对纳米压印光刻技术(NIL)过程中的纳米级空间定位要求,设计了一种采用柔性并联构型和压电陶瓷驱动的三自由度精密定位工作台。基于伪刚体(PRB)模型理论将柔性铰链等效为理想转动副和线性扭簧,建立了精密定位平台的PRB模型,并以此分析...
关键词：机械学 纳米压印光刻技术 精密定位工作台 工作空间分析 优化设计 
新型纳米压印光刻技术的研究和应用被引量：2
《世界科学》2009年第6期39-41,共3页屈新萍 
纳米压印（nanoimprint）这个词汇从1995年发明到现在，目前还并未被大多数学者和人们所认识。让我们来解读一下纳米压印。纳米，已经越来越走进我们的生活，随着纳米技术的大量应用，纳米领域向我们敞开了一个神奇、美妙的世界。拜电...
关键词：纳米压印 光刻技术 应用 大规模集成电路 纳米技术 双核CPU Intel 电视宣传 
名词术语释义——纳米压印光刻技术
《微纳电子技术》2006年第3期134-134,共1页
关键词：光刻技术 纳米压印 术语定义 成像技术 纳米级 硅衬底 光刻胶 物理学 图形 
纳米压印光刻技术及其发展现状被引量：2
《电子与封装》2005年第12期1-5,共5页李洪珠 
文章详细介绍了有望成为下一代主流的光刻技术——纳米压印光刻技术。并概述了其应用, 同时介绍了其在现阶段的发展状况。
关键词：压印光刻 发展状况 
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