名词术语释义——纳米压印光刻技术  

出　　处：《微纳电子技术》2006年第3期134-134,共1页Micronanoelectronic Technology

关 键 词：光刻技术 纳米压印 术语定义 成像技术 纳米级 硅衬底 光刻胶 物理学 图形 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学] TN405