硅衬底

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相关机构:中国科学院中国科学院微电子研究所中芯国际集成电路制造(上海)有限公司上海华虹宏力半导体制造有限公司更多>>
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天科合达与慕德微纳签署投资合同,共推AR眼镜镜片技术创新
《变频器世界》2025年第2期47-47,共1页
2月21日上午,天科合达与慕德微纳在徐州经开区签署投资合同,共同出资成立合资公司。双方将在AR衍射光波导镜片技术研发与市场推广方面展开深度合作,共同推动AR行业的技术创新与应用落地。此次签约后,双方将紧密合作,天科合达将凭借其在...
关键词:眼镜镜片 光波导 深度合作 投资合同 技术创新 市场推广 碳化硅衬底 创新与应用 
华为入股!天岳先进赴港IPO
《变频器世界》2025年第2期51-51,共1页
港交所2月24日披露,山东天岳先进科技股份有限公司递表港交所,中金公司和中信证券为其联席保荐人。招股书显示,天岳先进是全球宽禁带半导体材料行业的领军企业,自成立以来即专注于高品质碳化硅衬底的研发与产业化。
关键词:中信证券 招股书 保荐人 宽禁带半导体材料 天岳 IPO 领军企业 碳化硅衬底 
碳化硅衬底化学机械研磨机理
《电子工业专用设备》2025年第1期21-27,共7页罗付 蔡长益 潘宏明 詹阳 
化学机械平坦化(CMP)作为能够实现局部和全局平坦化的唯一方法,被广泛应用于碳化硅衬底加工中,其成本在碳化硅衬底加工中占30%~40%[1]。抛光液作为化学机械平坦化的主要耗材之一,不同抛光液的选取对平坦化的效果不同。为此针对不同磨料...
关键词:碳化硅 化学机械平坦化 抛光液 抛光垫 修整器 
哌嗪对硅衬底CMP速率影响的机理
《微纳电子技术》2025年第2期165-174,共10页刘文博 罗翀 王辰伟 岳泽昊 栾晓东 邵祥清 李瑾 
国家自然科学基金(62104087);中国博士后基金(2024M751207);河北工业大学创新研究院(石家庄)石家庄市科技合作专项基金(SJZZXB23003)。
为了在硅衬底化学机械抛光(CMP)过程中提高对硅片的去除速率,利用实验与密度泛函理论(DFT)计算相结合的方式研究了绿色环保添加剂哌嗪对硅片表面的作用机理。Zeta电位测试结果表明哌嗪的加入使磨料与抛光硅片表面的Zeta电位降低,二者间...
关键词:化学机械抛光(CMP) 硅衬底 哌嗪 去除速率 密度泛函理论(DFT)计算 
二乙烯三胺对硅片化学机械抛光速率的影响
《润滑与密封》2025年第1期138-143,共6页杨啸 王辰伟 王雪洁 王海英 张新颖 杨云点 盛媛慧 
河北省自然科学基金项目(E2019202367)。
为提高硅衬底化学机械抛光(CMP)的去除速率,在硅衬底抛光液中添加哌嗪(PZ)、二乙烯三胺(DETA)、三乙烯四胺(TETA)、乙醇胺(MEA)4种胺类化合物,对比其对硅片抛光速率促进效果。结果表明,4种胺类化合物对硅片抛光速率的促进作用由高到低...
关键词:化学机械抛光 抛光液 二乙烯三胺 硅衬底 抛光速率 
天岳先进发布全球首款12英寸碳化硅衬底
《变频器世界》2024年第11期42-42,共1页
11月14日消息,国产碳化硅衬底大厂天岳先进通过微信公众号宣布,其于11月13日在2024德国慕尼黑半导体展览会(Semicon Europe 2024)上,发布了业界首款300mm(12英寸)碳化硅衬底产品,宣告正式迈入超大尺寸碳化硅衬底的新时代。这一创新产品...
关键词:碳化硅衬底 微信公众号 行业标准 超大尺寸 天岳 首款 行业客户 发布会 
湖南三安2024年已达成多项合作
《变频器世界》2024年第9期44-44,共1页
近年来,三安半导体持续扩充碳化硅产能,其中,重庆三安(湖南三安的子公司)8英寸碳化硅衬底厂近日正式投产,该衬底厂预计总投资额为70亿人民币,年产能可达48万片8英寸碳化硅衬底。基于碳化硅产能保障,湖南三安持续开拓合作伙伴和客户,仅2...
关键词:总投资额 碳化硅衬底 子公司 半导体 合作伙伴 湖南 人民币 
碳化硅渗透有多快?天岳先进上半年营收翻倍
《磁性元件与电源》2024年第9期101-101,共1页丘水林 
8月23日,国内碳化硅衬底龙头天岳先进发布了2024年半年报,上半年实现营业收入9.12亿元,较上年同期增长108.27%;归母净利润1.02亿元,同比增加241.40%,较上年同期扭亏为盈。这已是天岳先进连续第9个季度保持营收增长趋势。
关键词:半年报 净利润 天岳 碳化硅衬底 营收 营业收入 扭亏为盈 
碳化硅,别“卷偏了”!
《中国粉体工业》2024年第4期48-49,53,共3页
碳化硅有多火,就不必多说了。碳化硅衬底技术壁垒高,为价值链条核心环节。碳化硅器件价值量存在倒挂,其成本主要集中在衬底和外延,根据CASA数据,两者占成本比例合计70%。其中,衬底制造技术壁垒最高,成本占比高达47%,是最核心环节。
关键词:碳化硅衬底 碳化硅器件 技术壁垒 核心环节 价值量 成本比例 
年产1600吨半导体碳化硅项目签约安吉
《变频器世界》2024年第7期48-48,共1页
6月28日,据“安吉发布”官微消息,在“源起黄浦江潮涌向未来”安吉(上海)推介会上,35个项目集体签约,包括年产1600吨碳化硅衬底材料项目、高性能新能源电池覆膜材料产业园项目、云上龙王山·高山全季文旅度假综合体项目等。
关键词:龙王山 产业园 安吉 碳化硅衬底 综合体项目 新能源电池 半导体 推介会 
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