新型纳米压印光刻技术的研究和应用  

作　　者：屈新萍[1] 

机构地区：[1]复旦大学信息科学与工程学院

出　　处：《世界科学》2009年第6期39-41,共3页World Science

摘　　要：纳米压印（nanoimprint）这个词汇从1995年发明到现在，目前还并未被大多数学者和人们所认识。让我们来解读一下纳米压印。纳米，已经越来越走进我们的生活，随着纳米技术的大量应用，纳米领域向我们敞开了一个神奇、美妙的世界。拜电视宣传所赐，越来越多人知道我们使用的电脑里Intel双核CPU采用的芯片是“45纳米技术”．这个技术就是目前大规模集成电路生产技术。

关 键 词：纳米压印 光刻技术 应用 大规模集成电路 纳米技术 双核CPU Intel 电视宣传 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学] TN305.7