掩模版

作品数：64被引量：100H指数：5
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交换版机械手用柔性吸附装置的力学特性及吸附效果分析
《电子工业专用设备》2024年第6期58-62,共5页刘颖 关宏武 赵东雷 林继柱 
吸附装置作为交换版机械手重要的组成部分,对掩模传输过程中物料的可靠性、安全性和掩模版的变形起关键性作用。通过综合考虑吸附装置的吸附性能、密封性能及对掩模版变形的影响,设计了一种新型柔性吸附装置,通过有限元仿真分析柔性吸...
关键词：柔性吸附装置 有限元分析 掩模版变形 吸附性能试验 密封性能试验 
逆向光刻工艺进展被引量：1
《激光与光电子学进展》2024年第21期1-23,共23页王富天 魏娟 王翠香 姜淼 穆昱 于春龙 刘蕊华 李福 范菁晶 刘金来 秦靖康 田恩强 孙松 王冲 刘晓楠 杨昊 梁迪 闫彬斌 李亮 曹清晨 师江柳 
光刻是先进集成电路制造的关键工艺,其利用光衍射-干涉和光化学反应原理,将集成电路图形从掩模版转移到半导体晶圆上。随着摩尔定律的不断推进,光刻关键尺寸逐步微缩,逼近光刻机的分辨率极限。由于光学邻近效应的作用,晶圆上的光刻成像...
关键词：逆向光刻技术 计算光刻 光刻 掩模版 
极紫外光刻量产良率的保障:掩模版保护膜
《光学仪器》2024年第4期81-94,共14页李笑然 李丰华 
当前信息技术的快速发展,需要不断扩大高端芯片的产能和良率,以满足当下及未来对电子产品持续增长的需求。在高端芯片制造环节中的极紫外光刻过程中,任何落在掩模版上的纳米尺度的颗粒污染,都会使曝光成像的图案产生缺陷而降低光刻制程...
关键词：极紫外光刻 良品率 保护膜 透过率 自支撑 薄膜 
基于宽带高次谐波的掩模版缺陷检测(特邀)
《光子学报》2024年第6期92-100,共9页李滢潇 曾志男 
国家自然科学基金(No.91950203)。
使用严格的时域有限差分法研究高次谐波光源的检测能力,探索不同波长光源的检测潜力。在综合考虑散射光效率和入射光光强的前提下,与光化波长检测相比,较长波长的光源如38 nm对直径小于10 nm的表面缺陷具有更好的检测能力。此外,38 nm...
关键词：高次谐波 极紫外光刻 暗场成像 缺陷检测 有限时域差分法 
OLED掩模版Mura缺陷分析与改善
《电子与封装》2024年第3期82-86,共5页束名扬 张玉星 袁卓颖 
Mura缺陷管控作为关键技术指标直接决定着OLED器件的显示画质与良品率。针对OLED掩模版生产过程中发生的Mura缺陷,通过Mura不良分析发现这种缺陷与阵列像素单元邻近辅助图形有关,并在显影工艺后表现出阵列像素单元关键尺寸(CD)不均匀与...
关键词：Mura OLED 掩模版 显影 
光刻机镜头漏光对光刻工艺的影响被引量：1
《电子与封装》2023年第4期65-68,共4页梁宗文 石浩 王雯洁 王溯源 章军云 
通过GaAs单片微波集成电路(MMIC)光刻工艺,试验得到不同掩模版透光区占空比下光刻机镜头的漏光率,分析了漏光率对曝光能量宽裕度以及光刻胶形状的影响。通过试验测量得出,掩模版透光区占空比的增加会导致曝光镜头的漏光率升高,进一步使...
关键词：365 nm步进式光刻机 漏光 掩模版 GaAs单片微波集成电路 
交换版机械手支架的模态分析
《电子工业专用设备》2023年第2期54-57,63,共5页刘颖 关宏武 王浩楠 赵东雷 林继柱 
针对交换版机械手上所用支架,基于有限元理论,运用ANSYS软件进行网格划分和属性定义,进行模态分析。运用LMS Testlab设备进行支架模态试验,结果表明模态仿真结果与试验结果误差在允许范围内,验证了仿真结果和试验结果的准确性、可靠性...
关键词：模态试验 有限元分析 支架 掩模版交换 机械手 
掩模版标准现状与发展方向
《标准科学》2022年第S01期91-95,共5页曹可慰 吴怡然 张军华 李其聪 
掩模版,也称光罩,是集成电路制造中光刻工艺所使用的图形母版,由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩模图形,并通过曝光将图形转印到产品基板上,是光刻工艺中最重要的耗材之一,其质量很大程度上决定了集成电路最终产品的质量。掩模版是...
关键词：掩模版 掩模基板 标准 标准体系 
先进光刻技术的发展历程与最新进展被引量：26
《激光与光电子学进展》2022年第9期76-92,共17页李艳丽 刘显和 伍强 
复旦大学引进人才科研启动项目(JIH1233018,JIH1233020)。
光刻技术是半导体集成电路技术发展的主要推动技术,其不断提高的分辨率与图形复制精度成功地将集成电路制造线宽从40多年前的2~3μm缩小到先进的10~15 nm。在发展过程中,众多先进的技术不断涌现,如投影式光刻、相移掩模版、化学放大型...
关键词：光刻 光刻工艺 光刻机 光刻胶 掩模版 
任意横向掺杂半导体功率器件的虚拟仿真实验教学被引量：2
《实验技术与管理》2022年第4期104-110,共7页李曼 杨可萌 郭宇锋 顾世浦 姚佳飞 张珺 张茂林 
国家自然科学基金(61874059);江苏省在线开放虚拟仿真实验教学项目(SYS2017SXF03);南京邮电大学实验室工作研究课题(2021XSJ02)。
为了突破传统理论、数值模拟和实验教学的局限性,进一步提升教学质量,培养专业领域创新人才,建设了任意横向掺杂半导体功率器件的虚拟仿真实验教学资源。基于自主研发的任意横向掺杂设计工具miniVLD,对半导体工艺仿真软件、器件模拟软...
关键词：任意横向掺杂 半导体功率器件 掩模版设计 虚拟制造 虚拟测试 版图设计 
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