用于ICF实验的掺溴聚苯乙烯平面调制箔靶  

SURFACE PERTURBATION TARGET FOR THE RAYLEIGH

作　　者：周斌[1] 王珏[1] 沈军[1] 邓忠生[1] 杜保旗[1] 赖珍荃[1] 陈玲燕[1] 张玉龙[2] 

机构地区：[1]同济大学波耳固体物理研究所 [2]同济大学化学系

出　　处：《物理》1998年第11期687-690,共4页Physics

基　　金：国家863高技术基金

摘　　要：以掺溴聚苯乙烯平面调制箔靶的制备为主，介绍通过激光干涉法结合图形转移工艺获得具有正弦起伏图形的掺溴聚苯乙烯平面调制箔靶的工艺．对表面调制起伏图形的精确转移进行研究，以ＳＥＭ和台阶仪监控图形转移过程，控制耦合在调制图形上的表面粗糙度．The preparation of surface perturbation targets on brominated polystyrene foil is discribed. Through laser interference and figure-transfer processes, sine modulated configurations on brominated polystyrene foils were obtained. The transfer-precision of the configurations was controled by SEM and an α-step apparatus. The surface roughness was analysed.

关 键 词：平面调制靶 掺溴聚苯乙烯 制靶技术 ICF 

分 类 号：TL632[核科学技术—核技术及应用] TL626