一种新型三轴电容式加速度计的设计分析  

Design and Analysis of a Novel Triaxis Capacitive Accelerometer

作　　者：王守明[1] 汪祖民[1] 

机构地区：[1]合肥工业大学电子科学与应用物理学院,安徽合肥230009

出　　处：《电子科技》2010年第3期86-89,共4页Electronic Science and Technology

基　　金：中国兵器工业第214研究所青年教师创新基金资助项目

摘　　要：设计了一种新型结构的体硅工艺梳齿电容式加速度计,该设计采用2个检测质量块,分别检测水平方向和垂直方向的加速度。x,y水平方向不对称梳齿的设计,消除了z轴对水平轴向加速度的干扰,同时z轴支撑梁的设计,解决了水平轴向对z轴的干扰。电容的差分结构有利于提高加速度计的检测性能。用Ansys仿真软件对敏感结构进行静态和模态分析,理论上验证了所提出的三轴电容式加速度计整体结构的可行性。A novel concept of the tri-axis micro capacitive accelerometer is proposed. This accelerometer consists of two inertial mass blocks to detect the horizontal and vertical acceleration simultaneously. The asymmetrical comb removes the vertical interference with the horizontal acceleration from the z-axis and the support of the beam of the z-axis significantly minimizes the coupling from the lateral acceleration. In order to improve the detection performance of the accelerometer, differential capacitance is proposed. Static and modal analysis with Ansys verifies the feasibility of the structure in theory.

关 键 词：不对称梳齿 电容式加速度计 体硅工艺 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]