微波MEMS滤波器的研究进展  

Research Progress of RF MEMS Filters

作　　者：李文明[1,2] 李骁骅[1,2] 杨月寒[1,2] 刘海文[2] 杨谟华[1] 于奇[1] 

机构地区：[1]电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都610054 [2]中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,成都610209

出　　处：《空间电子技术》2010年第1期90-95,共6页Space Electronic Technology

摘　　要：文章介绍了应用于射频微波系统的MEMS滤波器,结合最近几年国内外的MEMS滤波器研究成果,从MEMS滤波器的设计方法和滤波器性能等方面阐述了各种MEMS滤波器的技术发展状态。In this paper, MEMS microwave filters are classified and described comprehensively. According to recent development of MEMS microwave filters, the state-of-the-art of microwave MEMS filters is presented from the view of design and performance. The significance of MEMS filter technology is proposed.

关 键 词：微机电系统 微波滤波器 单片微波集成电路 

分 类 号：TN925[电子电信—通信与信息系统]