戈尔的高性能过滤芯  被引量:1

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出  处:《电子工业专用设备》2010年第4期54-54,56,共2页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘  要:在SEMICON China2010展会上,戈尔正式在中国市场推出一系列筒式过滤芯产品(GORE过滤芯),用于半导体和电子制造中的液体过滤。包括超纯水和去离子水(DI)过滤、高纯化学品过滤、以及半导体和微电子行业在湿法加工工艺中的水、化学品和稀释化学品过滤。

关 键 词:过滤芯 SEMICON 性能 去离子水 微电子行业 化学品 中国市场 液体过滤 

分 类 号:TN3-28[电子电信—物理电子学]

 

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