第十六讲 真空系统的操作与维护  

作　　者：张以忱[1] 

机构地区：[1]东北大学,辽宁沈阳110004

出　　处：《真空》2010年第2期86-88,共3页Vacuum

摘　　要：除了涡轮分子泵和钛升华泵各自的优缺点外。涡轮分子泵还由于机械结构与高速旋转的原因,使得它要获得大的抽速较为困难。而钛升华泵造价低,而且易于实现大抽速。目前它的抽速在高真空或超高真空获得设备中是较大的一种,而使用和维护都十分方便。只是由于排除惰性气体性能差而限制了它单泵进入超高真空。

关 键 词：真空系统 维护 涡轮分子泵 操作 真空获得设备 钛升华泵 超高真空 高速旋转 

分 类 号：TB743[一般工业技术—材料科学与工程] TB79[一般工业技术—真空技术]