基体效应对二次离子质谱相对灵敏度因子影响的研究  

作　　者：杨得全[1] 范垂祯[1] 

机构地区：[1]中国空间技术研究院兰州物理研究所所真空低温技术实验

出　　处：《真空科学与技术》1998年第A12期173-176,共4页Vacuum Science and Technology

摘　　要：众所周知，二次离子质谱定量分析的最大困难之一就是其体效应的影响。由于二次离子质谱发射机理较为复杂，从理论上描述和分析基体效应仍有较大难度。本文基于对不同基人本中相对灵敏度因子值的分析，提出了一种描述基体效应的物理量－基体效应因子。分析结果说明，在Ｏ２＾＋离子入射下，基体效应因子与基体的平均原子序数、平均电负性及其基体元素的氧化物平均生成热之间的密切的关系。依据作者曾提出的“结合断键－局域热平衡”

关 键 词：二次离子质谱 基体效应 相对灵敏度因子 SIMS 

分 类 号：O657.99[理学—分析化学]