范垂祯

作品数：61被引量：28H指数：2
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供职机构：中国科学院兰州物理研究所更多>>
发文主题：砷化镓SIMS二次离子质谱AES金属更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术理学金属学及工艺更多>>
发文期刊：《质谱学报》《微细加工技术》《物理》《真空科学与技术学报》更多>>
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大面积光学多层膜玻璃被引量：1
《真空与低温》2006年第4期194-199,共6页段永利 许生 巴德纯 范垂祯 
随着磁控溅射技术的不断进步,大面积光学多层膜玻璃也日渐发展,广泛地应用于建筑、汽车、平板显示等行业。对几种大面积光学多层膜玻璃的原理、应用以及制备技术分别作了简要介绍及评述。
关键词：大面积 光学多层膜 磁控溅射 
Hg_(1-x)Cd_xTe材料AES定量分析中的电子束和离子束效应
《真空科学与技术》1999年第1期15-19,共5页杨得全 范垂祯 
在Hg1-xCdxTe材料的AES分析中 ,由于分析电子束辐照作用 ,可诱导表面Hg原子的脱附和热升华 ,导致短时间内样品表面严重失Hg ,使AES定量分析结果产生很大的误差。实验结果表明 ,在超高真空中分析电子束辐照下局部Hg元素的挥发损失以负指...
关键词：俄歇电子能谱 电子束效应 离子束效应 汞镉碲 
基体效应对二次离子质谱相对灵敏度因子影响的研究被引量：1
《真空科学与技术》1998年第A12期173-176,共4页杨得全 范垂祯 
众所周知，二次离子质谱定量分析的最大困难之一就是其体效应的影响。由于二次离子质谱发射机理较为复杂，从理论上描述和分析基体效应仍有较大难度。本文基于对不同基人本中相对灵敏度因子值的分析，提出了一种描述基体效应的物理量－...
关键词：二次离子质谱 基体效应 相对灵敏度因子 SIMS 
半导体材料二次离子质谱定量分析中的基体效应被引量：1
《真空科学与技术》1997年第4期239-242,共4页杨得全 范垂祯 
中国航天工业总公司科技部资助
通过对Wilson等人由实验得出的Si，Ge，GaAs，GaP，InP，CdHgTe半导体和SiO2，Si3N4等绝缘基体中70多种注入元素相对灵敏度因子（RSF）值的综合分析，定义logFRS－Ii直线斜率为基体效应因子。发现基体效应因子值随基体平均原子序数的增...
关键词：SIMS 定量分析 基体效应 半导体材料 
渐进因子分析法在 Ta_2O_5/Ta 样品俄歇深度剖析研究中的应用被引量：3
《真空与低温》1997年第3期145-149,共5页谢舒平 范垂祯 
首次利用渐进因子分析法研究了Ｔａ２Ｏ５／Ｔａ样品的俄歇深度剖析过程，获得了样品中Ｔａ的三种不同化学态Ｔａ、Ｔａ２Ｏ５和ＴａＯｘ，并发现Ｔａ２Ｏ５薄膜中经Ａｒ＋离子束轰击后产生的亚稳态产物ＴａＯｘ的ｘ值为１．６，含量接...
关键词：渐进因子分析法 俄歇电子谱 深度剖析 EFA 钽 
LB 膜及其在气体传感器中的应用(二)被引量：1
《真空与低温》1997年第3期166-171,共6页杨得全 范垂祯 
ＬＢ膜技术在近十几年来取得了很大的进展。ＬＢ膜作为传感器的敏感材料，由于其灵敏度高、响应时间快、工作温度低（室温）等优点而受到广泛重视。简要讨论了ＬＢ膜技术的工作原理、ＬＢ膜技术研究的一些进展、ＬＢ膜的表征及其在气体...
关键词：LB膜 气体传感器 敏感材料 薄膜技术 
应用渐进因子分析法研究SiO_2/Si样品俄歇深度剖析被引量：1
《分析测试学报》1997年第5期5-7,共3页谢舒平 范垂祯 
首次利用渐进因子分析法对ＳｉＯ２／Ｓｉ样品俄歇深度剖析过程进行研究，发现ＳｉＯ２／Ｓｉ界面处有ＳｉＯｘ成分存在，ｘ值在１０～１５之间，厚度约为３０ｎｍ，含量接近５０％。Ａｒ＋离子束的轰击使得ＳｉＯ２薄膜内分解产生...
关键词：界面 俄歇电子谱 化学态 硅半导体 二氧化硅 
平面电极LB膜气体传感器的响应特性被引量：1
《传感器技术》1997年第4期17-20,共4页杨得全 范垂祯 
讨论了典型的平面叉指电极Langmuir-Blodgett（LB）膜气体传感器的气体响应特性，分析了影响气体响应特性的主要因素．分析计算结果指出，对于给定大小的基片，在工艺许可的条件下，可减小电极间距来增大测量电流．
关键词：气体传感器 LB薄膜 响应特性 
LB 膜及其在气体传感器中的应用(一)
《真空与低温》1997年第2期93-99,共7页杨得全 范垂祯 
ＬＢ膜技术在近十几年来取得了很大的进展。ＬＢ膜作为传感器的敏感材料，由于其灵敏度高、响应时间快、工作温度低（室温）等优点而受到广泛重视。简要讨论了ＬＢ膜技术的工作原理、ＬＢ膜技术研究的一些进展。
关键词：LB膜 气体传感器 传感器 敏感材料 
平面电极薄膜气体传感器中的表面与界面
《传感器技术》1997年第3期9-12,共4页杨得全 范垂祯 
有机半导体薄膜由于具有特殊离域的。电子体系的特殊结构，特别是LB膜制备技术的采用，使得制备的有机半导体薄膜具有定向性和极高的比表面积，在气体传感器应用中显示出优异的性能．本文主要讨论了平面电极式有机半导体薄膜气体传感器...
关键词：气体传感器 有机半导体薄膜 表面与界面 
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