谢舒平

作品数:7被引量:7H指数:1
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发文领域:理学电子电信化学工程航空宇航科学技术更多>>
发文期刊:《现代科学仪器》《分析测试学报》《真空与低温》更多>>
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ITO透明导电薄膜XPS深度剖面分析被引量:2
《真空与低温》2001年第1期18-20,共3页范垂祯 谢舒平 杨得全 
介绍了镀制 SiO2的 ITO透明导电薄膜的性能特点,描述了用 X射线光电谱仪对典型产品深度剖面的分析过程,给出了实验结果。
关键词:ITO透明导电薄膜 X射线光谱仪 深度剖面分析 二氧化硅玻璃 镀膜 
渐进因子分析法在 Ta_2O_5/Ta 样品俄歇深度剖析研究中的应用被引量:3
《真空与低温》1997年第3期145-149,共5页谢舒平 范垂祯 
首次利用渐进因子分析法研究了Ta2O5/Ta样品的俄歇深度剖析过程,获得了样品中Ta的三种不同化学态Ta、Ta2O5和TaOx,并发现Ta2O5薄膜中经Ar+离子束轰击后产生的亚稳态产物TaOx的x值为1.6,含量接...
关键词:渐进因子分析法 俄歇电子谱 深度剖析 EFA  
应用渐进因子分析法研究SiO_2/Si样品俄歇深度剖析被引量:1
《分析测试学报》1997年第5期5-7,共3页谢舒平 范垂祯 
首次利用渐进因子分析法对SiO2/Si样品俄歇深度剖析过程进行研究,发现SiO2/Si界面处有SiOx成分存在,x值在10~15之间,厚度约为30nm,含量接近50%。Ar+离子束的轰击使得SiO2薄膜内分解产生...
关键词:界面 俄歇电子谱 化学态 硅半导体 二氧化硅 
一种高灵敏度无水肼气体传感器被引量:1
《中国空间科学技术》1997年第1期41-45,共5页杨得全 王润福 谢舒平 郭云 范垂祯 王海军 力虎林 
采用Langmuir-Blotget(LB)技术在Al平面电极上沉积制备了一种有机络合物LB膜。测试结果说明,这种敏感膜对无水肼(N2H4)气体在室温环境下具有很高的探测灵敏度:对无水肼在空气中的探测极限优于5×10...
关键词: 漏泄 敏感器 LB膜 传感器 卫星 推进剂 
渐进因子分析法及其在Au/Ni/Si薄膜俄歇深度剖面研究中的应用被引量:1
《真空科学与技术》1997年第1期26-33,共8页谢舒平 杨得全 范垂祯 
将渐进因子分析法应用于俄歇深度剖面的化学态研究。通过对Au/Ni/Si薄膜样品深度剖析过程的渐进因子分析,最终获得了各元素的化学状态和深度分布,并发现Au/Ni/Si样品中Ni/Si界面在室温下已发生反应,生成富Si的NixSi化合物层。...
关键词:俄歇电子能谱 深度剖面 铜/铌/硅 薄膜 
PHI595扫描俄歇谱仪的计算机数据处理系统改造
《现代科学仪器》1996年第2期44-45,共2页谢舒平 蒋能 杨得全 范垂祯 
PHI595扫描俄歇谱仪是我所从美国引进的大型表面分析仪器。本文结合表面分析技术的发展,对该仪器的PDP-11/04计算机数据处理系统进行了改造,设计了专用的通信接口,将PDP小型计算机与PC/486微机相联接,从而使实验数据能传输入微机...
关键词:扫描 计算机数据系统 俄歇电子能谱仪 
Ti/Al多层金属薄膜AES深度剖析的目标因子分析
《真空与低温》1995年第4期187-191,共5页谢舒平 郭云 杨得全 范垂祯 
目标因子分析法(TFA)是一种对多元系统进行统计分析的计算数学方法。结合这种方法对Ti/Al多层金属薄膜的俄歇电子谱(AES)深度剖析结果进行了仔细的分析,获得了Ti、Al、O、Si各元素的化合状态的深度分布情况,并...
关键词:目标因子分析法 俄歇电子谱 多层金属薄膜   
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