玻璃基板上的微细图形形成技术  

Fine Pattern Formation Technology on Glass Substrate

作　　者：蔡积庆（编译） 

机构地区：[1]江苏南京210018

出　　处：《印制电路信息》2010年第7期21-25,共5页Printed Circuit Information

摘　　要：概述了平滑玻璃基板上的微细图形形成技术以及纳米多孔ZnO膜,弱酸性铅催化液和弱酸性乙酸铜镀铜液的开发,可以在玻璃/ZnO中间层化学镀铜层/乙酸铜镀铜层/硫酸铜镀铜层上采用减成法形成L/S=100μm/100μm的微细铜电路图形。This paper describes the fi ne pattern formation technology on smooth glass substrate, and the development of nano porous zine oxide （ZnO） fi lm, weak acicl Pd catalyst solution and weak acid copper acetate bath, can form L/S=100μm/100μm fi ne Cu Circuit pattern on glass/ZnO middle layer/electroless copper plating/ copper acetate cu plating/copper sulfate cu plating by Subtractive process.

关 键 词：ZnO膜 玻璃基板 微细图形 弱酸性铅催化液 弱酸性乙酸铜镀铜液 化学镀铜 

分 类 号：TN41[电子电信—微电子学与固体电子学]