微细图形

作品数:34被引量:41H指数:4
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相关机构:西安理工大学中国科学院现代电子产业株式会社大日本印刷株式会社更多>>
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针对影响二氧化钛薄膜微细图形物性因素的探究
《当代化工研究》2021年第21期63-65,共3页胡晋威 
针对可能影响制备二氧化钛薄膜物性的因素,通过以钛酸丁酯、乙酰丙酮、苯甲酰丙酮、无水乙醇作为原材料通过提拉法、旋涂法制备出二氧化钛感光薄膜。以点光源照射基底,得到三种不同花纹的微细图形,并做了SEM表征。定性分析了旋涂、提拉...
关键词:二氧化钛薄膜 微细图形 
广东光刻胶产业发展现状及应对策略
《广东经济》2019年第9期85-90,共6页任志宽 
广东省省级科技计划项目“面向2035广东科技发展战略研究”(2018B070714011)
光刻胶是电子化学品中技术壁垒最高的材料,具有纯度要求高、生产工艺复杂、前期投资大、技术积累期长等特征,属于资本技术双密集型产业①。光刻胶主要应用于光电信息产业的微细图形线路的加工制作,是印刷线路板(PCB)、液晶显示屏(LCD)...
关键词:光刻胶 计算机芯片 电子化学品 微细图形 前期投资 航空航天 纯度要求 技术壁垒 
LaNiO_3凝胶薄膜微细图形的制备被引量:2
《材料导报(纳米与新材料专辑)》2016年第2期259-261,共3页李大玉 高瑞芳 
江苏省自然科学基金(BK20150455);扬州市科学技术计划项目(YZ2015088)
采用溶胶-凝胶工艺,以Ni(Ac)_2、La(NO_3)_3为前驱原料,以乙醇和乙二醇甲醚为溶剂,以丙烯酸为稳定剂,乙酰丙酮(AcAc)为化学修饰剂制备了感光性LNO溶胶。通过其溶胶的紫外和红外吸收光谱研究了感光性LNO溶胶的紫外感光机理,并运用溶胶-...
关键词:镍酸镧薄膜 微细加工 溶胶-凝胶直接感光法 微细图形 
氧化镍存储薄膜微细图形的研究
《合成材料老化与应用》2015年第4期93-97,共5页石芬 
以醋酸镍为原料,乙二醇甲醚为溶剂,苯酰丙酮为化学修饰剂,采用溶胶-凝胶法与化学修饰法相结合的方法制备感光性氧化镍基溶胶及凝胶膜,利用紫外-可见光分光计和红外光谱仪等手段对凝胶膜进行分析表征,结果表明:此凝胶膜具有紫外感光特性...
关键词:溶胶-凝胶法 含镍螯合物 感光性 化学修饰 微细图形 
Al_2O_3感光薄膜的制备及其微细图形化研究被引量:1
《功能材料》2014年第12期12079-12082,12087,共5页王哲哲 赵高扬 林林 冯卓宏 郑志强 
国家自然科学基金青年科学基金资助项目(51202033;11204039);福建省科技厅(K)类资助项目(JK2011008);校管资助项目(IRTL1203)
提出一种利用感光溶胶-凝胶法结合紫外光刻技术制备Al2O3微细图形的方法。以Al(O-SecBu)3为前驱物,β-二酮类配体H(C10H12O2)为化学修饰剂,合成了稳定的、具有良好感光性的含Al金属螯合物,进而制备出相应的感光薄膜。研究了薄膜的紫外...
关键词:AL2O3薄膜 感光溶胶-凝胶 化学修饰 激光干涉 微细图形 
CMOS光刻市场发展及应用
《电脑与电信》2011年第12期4-6,共3页罗玉 
随着电子产业的技术进步和发展,光刻技术及其应用已经远远超出了传统意义上的范畴,CMOS光刻市场几乎包括和覆盖了所有微细图形的传递、微细图形的加工和微细图形的形成过程。因此,未来光刻技术的发展也是多元化的,应用领域的不同会有所...
关键词:市场发展 CMOS 应用 光刻 技术进步 微细图形 电子产业 多元化 
玻璃基板上的微细图形形成技术
《印制电路信息》2010年第7期21-25,共5页蔡积庆(编译) 
概述了平滑玻璃基板上的微细图形形成技术以及纳米多孔ZnO膜,弱酸性铅催化液和弱酸性乙酸铜镀铜液的开发,可以在玻璃/ZnO中间层化学镀铜层/乙酸铜镀铜层/硫酸铜镀铜层上采用减成法形成L/S=100μm/100μm的微细铜电路图形。
关键词:ZnO膜 玻璃基板 微细图形 弱酸性铅催化液 弱酸性乙酸铜镀铜液 化学镀铜 
利用化学镀和激光照射在有机树脂基板形成微细图形
《印制电路信息》2009年第10期34-38,53,共6页蔡积庆 
概述了利用化学镀和激光照射形成PCB的微细铜图形。玻璃纤维环氧树脂板浸渍于Pd2+溶液中,采用化学镀铜在环氧树脂上沉积铜层。镀铜以后采用脉冲Nd-YAG激光通过可变虹彩膜片和凸透镜照射到镀铜层样品上,以便在空气中或二次蒸馏水中局部...
关键词:化学镀 激光照射 微机械加工 印制板 
溶胶-凝胶法制备YBCO超导薄膜微细图形被引量:1
《无机材料学报》2009年第1期192-194,共3页张黄莉 赵高扬 彭海军 
国家自然科学基金(50772088);西安应用材料创新基金(XA-AM-200611)
以甲醇为溶剂,以醋酸铜、醋酸钇和醋酸钡为起始原料,二乙烯三胺、三氟乙酸、丙烯酸为添加剂,采用溶胶-凝胶法制备了具有紫外感光性的YBCO溶胶及其凝胶薄膜,其紫外吸收峰在250nm附近,对应于铜络合物的电子跃迁吸收,随着紫外光的照射,其...
关键词:YBCO 溶胶-凝胶 感光性 微细图形 
基于原子力显微技术的PZT微阵列图形铁电性能被引量:1
《功能材料与器件学报》2008年第5期919-922,共4页徐国敏 赵高扬 张卫华 邓小翠 谭红 何力 
国家重点基础研究前期研究专项基金(批准号:2003CCA03300);西安应用材料创新基金(批准号:XA-AM-200611)资助
应用基于原子力显微镜与铁电分析仪联用的方法,在无顶电极的情况下,直接测试了PZT微阵列格点的电滞回线。结果表明,应用铁电分析仪与原子力显微镜联用的测试技术能够表征铁电电容的电滞回线,并且可以定性地评价薄膜微电容的铁电特性。
关键词:锆钛酸铅 铁电薄膜 电滞回线 微细图形 
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