基于原子力显微技术的PZT微阵列图形铁电性能  

Measurement of ferroelectric properties of PZT fine patterns by AFM technique

作　　者：徐国敏[1,2] 赵高扬[1] 张卫华[1] 邓小翠[1] 谭红[2] 何力[2] 

机构地区：[1]西安理工大学材料科学与工程学院,西安710048 [2]国家复合改性聚合物材料工程技术研究中心,贵阳550014

出　　处：《功能材料与器件学报》2008年第5期919-922,共4页Journal of Functional Materials and Devices

基　　金：国家重点基础研究前期研究专项基金(批准号:2003CCA03300);西安应用材料创新基金(批准号:XA-AM-200611)资助

摘　　要：应用基于原子力显微镜与铁电分析仪联用的方法,在无顶电极的情况下,直接测试了PZT微阵列格点的电滞回线。结果表明,应用铁电分析仪与原子力显微镜联用的测试技术能够表征铁电电容的电滞回线,并且可以定性地评价薄膜微电容的铁电特性。In this study, The hysteresis loops of the cell in PZT array were in -situ measured in the absence of the top electrode by the online - operation of TF analyzer and atomic force microscope （AFM）. The result shows that the technique can be applied to measure the hysteresis loops and qualitatively analyze the ferroelectric properties of the cell.

关 键 词：锆钛酸铅 铁电薄膜 电滞回线 微细图形 

分 类 号：TB34[一般工业技术—材料科学与工程] TN936.3[电子电信—信号与信息处理]