将MEMS传感器用于各种创新的消费类电子产品设计  

出　　处：《工业设计》2010年第7期62-63,共2页Industrial Design

摘　　要：MEMS即微机电系统，是利用微米级立体结构实现感应和执行功能的一项关键技术。其中，微米级立体结构是利用被称为“微加工”的特殊工艺实现的微米大小的立体机械结构。

关 键 词：MEMS传感器 电子产品设计 消费类 创新 立体结构 微机电系统 微米级 机械结构 

分 类 号：TN965[电子电信—信号与信息处理]