GE压力传感技术发布新型沟槽刻蚀谐振式压力传感器技术平台  

出　　处：《传感器世界》2010年第8期38-38,共1页Sensor World

摘　　要：据来自通用电气传感检测科技（上海）有限公司消息，GE检测控制技术业务旗下压力传感技术部门最新发布新型沟槽刻蚀谐振式（TERPS）压力传感器技术平台RPS8000，在显著提高与传统谐振压力技术相关的压力测试范围的能力的同时，提供10倍于现有的压阻式压力传感器的精度和稳定性。

关 键 词：谐振式压力传感器 技术平台 压力传感技术 刻蚀 沟槽 GE 压阻式压力传感器 传感检测 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]