宽带平坦型软X射线多层反射膜的设计  

The Design of Soft X ray Broadband and Flat Multilayer

作　　者：柯常军[1,2] 王占山[1,2] 郑咏梅[1,2] 张铁强[1,2] 曹健林[1,2] 陈星旦[1,2] 

机构地区：[1]吉林工业大学应用物理系 [2]中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室

出　　处：《光学精密工程》1999年第3期19-22,共4页Optics and Precision Engineering

基　　金：国家自然科学基金

摘　　要：提出一种宽带平坦型软Ｘ射线多层反射膜的设计方法。给出了１８ｎｍ２０ｎｍ波段的设计结果，整个波段的反射率与２５％的最大偏差小于１．５％。这种方法对于软Ｘ射线波段的成像、光谱分析等应用有重要意义。A technique used for designing soft X ray multilayer for broadband and flat reflection has been developed. As an example, we present design result calculation in the 18nm 20nm spectral range. In the range the maximum deviation from 25% reflectivity level is less than 1.5%. It is very important for spectrum imaging and spectrum analysis.

关 键 词：平坦 软X射线多层膜 随机数 评价函数 

分 类 号：O434.1[机械工程—光学工程] O484.41[理学—光学]