蠕动泵原理及在化学机械抛光过程中的应用  

The Peristaltic Pump's Work Theory and its Application in the Chemical Mechanical Polishing Process

作　　者：高慧莹[1] 刘涛[1] 孙振杰[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京101601

出　　处：《电子工业专用设备》2010年第9期48-51,共4页Equipment for Electronic Products Manufacturing

基　　金：国家863项目(200945KY02)

摘　　要：主要分析了蠕动泵的组成和工作原理,描述了蠕动泵在化学机械抛光过程中的应用特点和优势。详细介绍了蠕动泵在应用过程中的控制方法和选用注意事项。This article analyses the Peristaltic Pump＇s configuration and working principle,introduced its applying characteristic and advantage in the chemical mechanical polishing process.In addition,this article expounds the controlling and choosing ways and means when applying the Peristaltic Pump.

关 键 词：蠕动泵 化学机械抛光 控制 泵头 泵管 

分 类 号：TN305.2[电子电信—物理电子学]