新型大面积电磁表面波等离子体源  

A NEW TYPE LARGE AREA PLASMA SOURCE PRODUCED BY ELECTROMAGNETIC SURFACE WAVES

作　　者：吴丛凤[1,2] 朱晓东[1,2] 武帅[1,2] 詹如娟[1,2] 

机构地区：[1]中国科技大学近代物理系 [2]中国科技大学高等研究院

出　　处：《核聚变与等离子体物理》1999年第2期101-104,共4页Nuclear Fusion and Plasma Physics

基　　金：国家自然科学基金

摘　　要：研制了一种新型电磁表面波等离子体源，并对其参数和特性进行了实验研究。实验结果表明，该源在２３０Ｐａ以下的气压范围内成功地产生了直径在１６０ｍｍ以上、电子密度达１０１０－１０１１ｃｍ－３、电子温度只有几电子伏特的大面积均匀等离子体柱，适合于大面积。The design and experimental investigation of a new type plasma source produced by electromagnetic surface waves is given.The experimental results show that the source has successfully produced a homogeneous plasma column in diameter over 160mm with electron density of 10 10 -10 11 cm -3 and electron temperature of several eV at a pressure below 230Pa.This manifests that the source is adaptable applications for large area and large volume plasmas.

关 键 词：电子温度 电磁表面波 等离子体源 

分 类 号：O531[理学—等离子体物理]