扫描电镜在微细加工技术中的应用  

作　　者：阮世池[1] 

机构地区：[1]电子科技大学材料分析中心

出　　处：《电子元件与材料》1999年第2期27-27,共1页Electronic Components And Materials

摘　　要：微细加工技术是指制造微小尺寸零件的加工技术，它所涉及的是微米（μｍ）级的加工，现已发展到亚微米（１μｍ以下）和纳米（１ｎｍ）尺寸的加工技术。目前已成为大规模集成电路和微细图案形成必不可少的加工手段。例加在微米、亚微米大规模集成电路（ＶＬＳＩ）中，芯片...

关 键 词：微细加工技术 VLSI 扫描电镜 应用 

分 类 号：TN470.5[电子电信—微电子学与固体电子学] TN16