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出　　处：《电子工业专用设备》2011年第3期54-54,共1页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：SEMICON China 2011——EVG推出EVG620HBL HB-LED全自动光刻系统EVG（Semicon China 2011,Booth 3101）为大批量制造高亮度发光二极管（HB-LED）、复合半导体及动力电子设备,推出了EVG620HBL——全自动光刻机系统。

关 键 词：高亮度发光二极管 SEMICON HB-LED 光刻系统 BOOTH 复合半导体 批量制造 电子设备 

分 类 号：TN312.8[电子电信—物理电子学]