MEMS传感器在汽车电子上的应用研究与展望  

Application Research and Prospect of MEMS Sensors in Automotive Electronics

作　　者：黄军辉[1] 陈述官[1] 廖中文[1] 王海林[2] 

机构地区：[1]广东农工商职业技术学院电子与信息工程系,广州510507 [2]华南农业大学工程学院,广州510642

出　　处：《拖拉机与农用运输车》2011年第2期1-3,7,共4页Tractor & Farm Transporter

基　　金：广东省科技计划资助项目(2008B021200008)

摘　　要：为了满足汽车电子化、智能化的需要,越来越多的MEMS(微机电系统)传感器应用到汽车上。本研究对主要几种汽车MEMS传感器的应用状况和研究现状进行简述,并且对压力传感器和微加速度计的设计缺陷进行研究;同时,结合MEMS传感器的特点和车载传感器的要求,对汽车MEMS传感器的发展提出几点建议和展望。In order to meet the needs of automotive electronics,intelligence,an increasing number of MEMS（Micro Electro Mechanical System） sensors are applied to the car.In this paper,the present application and the current research of several major automotive MEMS sensors are introduced,and the design flows of micro pressure sensor and accelerometer are studied.Meanwhile,combining the characteristics of MEMS sensors and the requirements of vehicle sensors,a few suggestions and prospects on the development of the automotive MEMS sensors are offered.

关 键 词：微机电系统 MEMS传感器 综述 

分 类 号：TP212.9[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] U463.6[自动化与计算机技术—控制科学与工程]