硅微机械角速度传感器闭环驱动控制方法研究  

作　　者：周顺[1] 李明[1] 罗晓章[1] 周百令[1] 

机构地区：[1]南京东南大学仪器科学系,210096

出　　处：《电子技术应用》1999年第12期33-35,共3页Application of Electronic Technique

摘　　要：在分析硅微机械角速度传感器稳定工作条件的基础上，探讨了微机械角速度传感器对驱动电路的控制要求，提出了一种新颖的驱动频率自动跟踪的控制方法，给出了驱动电路闭环控制框图，详细分析了驱动模态闭环控制逻辑。最后的开、闭环对比实验说明了本控制方案的有效性。

关 键 词：硅微机械 角速度传感器 频率跟踪 闭环驱动控制 

分 类 号：TH824.3[机械工程—仪器科学与技术]