碳氮薄膜的结构分析  

作　　者：赵敏学[1] 

机构地区：[1]中国人民武装警察部队学院科研所

出　　处：《真空科学与技术》1999年第A10期81-84,共4页Vacuum Science and Technology

摘　　要：对不同沉积条件下沉积在硅基片上的纯碳薄膜、碳氮薄膜以及受不锈钢污染的碳氮薄膜的Ｘ射线衍射谱进行了比较分析，并结合晶态碳氮薄的Ｒａｍａｎ谱分析，认为在这几种工艺条件下是否已合成出β－Ｃ３Ｎ４尚特进一步研究。

关 键 词：气相沉积 碳氮薄膜 X射线衍射 Β相 

分 类 号：O484.5[理学—固体物理]