碳氮薄膜

作品数：44被引量：56H指数：3
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射频磁控溅射制备硼碳氮薄膜的拉曼光谱研究
《光散射学报》2022年第1期6-9,共4页刘彩云 李宇婧 高伟 殷红 
国家自然科学基金(No.51872113,No.51572105)。
硼碳氮(BCN)三元化合物薄膜具有原子可调组成比,并且能够展现出相应的材料特性,因此在力、热、光、电子学等领域拥有广阔的应用前景。本文采用射频磁控溅射法在硅衬底上通过调节通入的氮气流量,合成了一系列不同组分的BCN薄膜。发现随...
关键词：硼碳氮 薄膜 拉曼光谱 
调控CN_x薄膜的紫外可见波段光学性能研究被引量：1
《真空科学与技术学报》2018年第5期369-374,共6页毛娟 熊政伟 曹林洪 
采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)在不同衬底温度(常温、50、100、150、200℃)下制备了碳氮(CNx)薄膜,并对其形貌、结构及光学性能进行了研究。通过扫描电镜得出随着衬底温度的升高,薄膜由疏松逐渐变得致密。X射线光电子能谱分析表...
关键词：碳氮薄膜 X射线光电子谱 光学 sp^2C=N 
氮气流量对类富勒烯碳氮薄膜结构及力学性能的影响被引量：2
《表面技术》2018年第2期236-242,共7页冯兴国 杨拉毛草 周晖 张凯锋 万志华 胡汉军 郑玉刚 
真空技术与物理国防科技重点实验室基金(9140C550105150C55)~~
目的在9Cr18钢表面制备类富勒烯碳氮薄膜,提高9Cr18钢表面强度。方法采用非平衡直流磁控溅射技术,在沉积温度为300℃的Ar和N2混合气氛中溅射C靶,制备类富勒烯CNx薄膜。利用XPS、Raman光谱、SEM研究了类富勒烯CNx薄膜的微观结构,利用纳...
关键词：磁控溅射 类富勒烯碳氮薄膜 微观结构 力学性能 
温度对类富勒烯碳氮薄膜微观结构与摩擦学性能的影响被引量：2
《润滑与密封》2017年第11期7-12,共6页冯兴国 杨拉毛草 周晖 张凯峰 万志华 胡汉军 郑玉刚 张文晶 霍丽霞 
真空技术与物理国防科技重点实验室基金项目(9140C550105150C55)
采用直流反应磁控溅射分别在200、250、300和350℃条件下沉积类富勒烯碳氮薄膜,利用X射线光电子能谱(XPS)和扫描电子显微镜(SEM)表征薄膜的微观结构形貌,采用薄膜综合性能测试仪以及通过大气球盘摩擦试验研究薄膜的力学性能及摩擦学性...
关键词：磁控溅射 类富勒烯 硬度 摩擦学性能 
氮气分压比对硼碳氮薄膜的组分及光学带隙的影响
《辽宁师范大学学报（自然科学版）》2011年第1期43-46,共4页王玉新 郑亚茹 王晓玉 王晓雪 董李娜 宋哲 
大连市科学技术基金项目(2007J23JH029)
采用射频磁控溅射方法以不同的氮气分压比（1/10-2/3）制备出一组硼碳氮薄膜.傅里叶变换红外光谱（FTIR）和X射线光电子能谱（XPS）测量发现样品的组成原子之间均实现了原子级化合.XPS测量结果表明,所有样品中的B、N原子比近似为1∶1,...
关键词：射频磁控溅射 硼碳氮薄膜 氮气分压比 光学带隙 
硼碳氮薄膜的脉冲激光沉积及其光学性能被引量：3
《功能材料与器件学报》2010年第4期358-362,共5页杨琼 王传彬 章嵩 张东明 沈强 张联盟 
国家自然科学基金资助项目(50772082)
采用脉冲激光沉积技术,在Si（100）和石英基片上制备了硼碳氮薄膜（BCN）。利用X射线衍射（XRD）,傅里叶变换红外光谱（FTIR）、X射线光电子能谱（XPS）和紫外-可见分光光度计对BCN薄膜进行了表征,研究了激光能量密度对BCN薄膜沉积速率...
关键词：硼碳氮薄膜 脉冲激光沉积 成分 光学性能 
硼碳氮薄膜的制备与表征
《稀有金属材料与工程》2009年第A02期568-571,共4页刘振良 廖志君 范强 杨水长 伍登学 卢铁城 
"863"专项课题项目(2007AA804406)资助
用电子束蒸发的方法在单晶硅(100)基片上制备了硼碳氮薄膜,通过椭圆偏振仪、X射线衍射仪(XRD)、X光电子能谱仪(XPS)、傅立叶红外光谱仪(FTIR),测试分析了薄膜厚度均匀性、成分与结构。结果表明,薄膜均匀性较好,薄膜的沉积速率非常慢;薄...
关键词：硼碳氮薄膜 XPS XRD FTIR 
磁控溅射沉积参数对硼碳氮薄膜沉积速率的影响被引量：2
《金属热处理》2009年第7期31-33,共3页徐淑艳 马欣新 唐光泽 孙明仁 
利用直流磁控溅射技术制备了三元硼碳氮(B-C-N)薄膜,通过改变靶功率、基体偏压、沉积温度和励磁线圈电流,在相同沉积时间内得到不同厚度的薄膜。采用纳米压入仪分析了沉积参数改变对B-C-N薄膜沉积速率的影响规律。结果表明,在低靶功率...
关键词：硼碳氮(B-C-N)薄膜 工艺参数 沉积速率 
DBD-PECVD法制备CN薄膜的结构及性能研究
《真空科学与技术学报》2009年第5期479-483,共5页张莲莲 刘艳红 牛金海 刘东平 
使用自行设计的真空系统,采用介质阻挡放电等离子体增强化学气相沉积(DBD-PECVD)法,分别以CH4/N2、C2H2/N2、C2H4/N2混合气体作为反应气体,在单晶硅片上成功制备了CN薄膜。FTIR结果证实了薄膜中碳氮原子结合成化学键,Raman结果说明薄膜...
关键词：碳氮薄膜 薄膜结构 介质阻挡放电 FTIR AFM RAMAN 
脉冲阴极弧放电制备碳氮薄膜及其分析
《物理实验》2009年第4期16-18,22,共4页刘娜 施芸城 
采用高压点火的方式触发脉冲阴极弧放电,在Si(100)衬底上制备出较为光滑、均匀、致密的碳氮薄膜.研究发现在不同的放电电压与距离对薄膜的沉积起到了很重要的作用.扫描电镜及电子能谱分析表明,薄膜为非晶碳氮薄膜,并且随沉积能量的增大...
关键词：高压点火 脉冲阴极弧 碳氮薄膜 
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