硼碳氮薄膜

作品数：16被引量：17H指数：2
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射频磁控溅射制备硼碳氮薄膜的拉曼光谱研究
《光散射学报》2022年第1期6-9,共4页刘彩云 李宇婧 高伟 殷红 
国家自然科学基金(No.51872113,No.51572105)。
硼碳氮(BCN)三元化合物薄膜具有原子可调组成比,并且能够展现出相应的材料特性,因此在力、热、光、电子学等领域拥有广阔的应用前景。本文采用射频磁控溅射法在硅衬底上通过调节通入的氮气流量,合成了一系列不同组分的BCN薄膜。发现随...
关键词：硼碳氮 薄膜 拉曼光谱 
氮气分压比对硼碳氮薄膜的组分及光学带隙的影响
《辽宁师范大学学报（自然科学版）》2011年第1期43-46,共4页王玉新 郑亚茹 王晓玉 王晓雪 董李娜 宋哲 
大连市科学技术基金项目(2007J23JH029)
采用射频磁控溅射方法以不同的氮气分压比（1/10-2/3）制备出一组硼碳氮薄膜.傅里叶变换红外光谱（FTIR）和X射线光电子能谱（XPS）测量发现样品的组成原子之间均实现了原子级化合.XPS测量结果表明,所有样品中的B、N原子比近似为1∶1,...
关键词：射频磁控溅射 硼碳氮薄膜 氮气分压比 光学带隙 
硼碳氮薄膜的脉冲激光沉积及其光学性能被引量：3
《功能材料与器件学报》2010年第4期358-362,共5页杨琼 王传彬 章嵩 张东明 沈强 张联盟 
国家自然科学基金资助项目(50772082)
采用脉冲激光沉积技术,在Si（100）和石英基片上制备了硼碳氮薄膜（BCN）。利用X射线衍射（XRD）,傅里叶变换红外光谱（FTIR）、X射线光电子能谱（XPS）和紫外-可见分光光度计对BCN薄膜进行了表征,研究了激光能量密度对BCN薄膜沉积速率...
关键词：硼碳氮薄膜 脉冲激光沉积 成分 光学性能 
硼碳氮薄膜的制备与表征
《稀有金属材料与工程》2009年第A02期568-571,共4页刘振良 廖志君 范强 杨水长 伍登学 卢铁城 
"863"专项课题项目(2007AA804406)资助
用电子束蒸发的方法在单晶硅(100)基片上制备了硼碳氮薄膜,通过椭圆偏振仪、X射线衍射仪(XRD)、X光电子能谱仪(XPS)、傅立叶红外光谱仪(FTIR),测试分析了薄膜厚度均匀性、成分与结构。结果表明,薄膜均匀性较好,薄膜的沉积速率非常慢;薄...
关键词：硼碳氮薄膜 XPS XRD FTIR 
磁控溅射沉积参数对硼碳氮薄膜沉积速率的影响被引量：2
《金属热处理》2009年第7期31-33,共3页徐淑艳 马欣新 唐光泽 孙明仁 
利用直流磁控溅射技术制备了三元硼碳氮(B-C-N)薄膜,通过改变靶功率、基体偏压、沉积温度和励磁线圈电流,在相同沉积时间内得到不同厚度的薄膜。采用纳米压入仪分析了沉积参数改变对B-C-N薄膜沉积速率的影响规律。结果表明,在低靶功率...
关键词：硼碳氮(B-C-N)薄膜 工艺参数 沉积速率 
工作气压对磁控溅射法制备硼碳氮薄膜结晶度的影响(英文)
《世界科技研究与发展》2008年第6期694-696,共3页龚恩乐 刘镒 方之颢 于杰 
本文用六方氮化硼和石墨靶材采用射频(频率为13.56 MHz)磁控溅射法沉积硼碳氮薄膜,得到的硼碳氮薄膜可用红外,拉曼表征。工作气压从0.2 Pa升高到6.0 Pa。我们可以观察到工作气压可以明显的改变硼碳氮薄膜的晶体结构和结晶度。硼碳氮薄...
关键词：硼碳氮薄膜 射频磁控溅射 工作气压 结晶度 半高宽 
FTIR法研究BCN薄膜的内应力被引量：2
《光谱学与光谱分析》2008年第7期1526-1529,共4页王玉新 郑亚茹 宋哲 冯克成 赵永年 
国家自然科学基金项目(59831340);大连市科学技术基金项目(2007J23JH029)资助
采用射频磁控溅射技术，用六角氮化硼和石墨为溅射靶，以氩气（Ar）和氮气（N2）为工作气体，在Si（100）衬底上制备出硼碳氮（BCN）薄膜。利用傅里叶变换红外光谱（FTIR）考察了不同沉积参数（溅射功率为80～130W、衬底温度为300-500...
关键词：射频磁控溅射 硼碳氮薄膜 傅里叶变换红外光谱 内应力 
射频功率对硼碳氮薄膜的组分和厚度的影响
《辽宁师范大学学报（自然科学版）》2008年第2期155-157,共3页王玉新 郑亚茹 宋哲 冯克成 
国家自然科学基金资助项目(59831340);大连市科学技术基金资助项目(2007J23JH029)
利用射频磁控溅射方法以不同的射频功率（80～130W）在硅衬底上制备出一组硼碳氮（BCN）薄膜．傅里叶红外吸收光谱（FTIR）和X射线光电子能谱（XPS）测量发现样品的组成原子之间均实现了原子级化合．射频功率对薄膜的组分和厚度有很大...
关键词：射频磁控溅射 硼碳氮薄膜 X射线光电子能谱 射频功率 
沉积参量对硼碳氮薄膜光透过性质的影响被引量：2
《功能材料》2008年第6期935-937,941,共4页王玉新 郑亚茹 宋哲 冯克成 
国家自然科学基金资助项目(59831340);大连市科学技术基金资助项目(2007J23JH029)
采用射频磁控溅射技术，用六角氮化硼和石墨为溅射靶，以氩气（Ar）和氮气（N2）为工作气体，在玻璃衬底上制备出硼碳氮（BCN）薄膜。通过改变氮气分压比、衬底温度及沉积时间，研究了沉积参量对薄膜光透过性质的影响。利用X射线光电子...
关键词：硼碳氮薄膜 射频磁控溅射 沉积参量 透过 性质 
硼碳氮薄膜的制备及其光透过性质研究被引量：3
《辽宁师范大学学报（自然科学版）》2007年第3期304-306,共3页王玉新 郑亚茹 冯克成 
国家自然科学基金资助项目(59831340)
利用射频磁控溅射方法以不同的氮气分压比（1/10-2/3）在玻璃衬底上制备出一组硼碳氮薄膜.傅里叶变换红外光谱测量发现样品的组成原子之间均实现了原子级化合.氮气分压比对薄膜的组分和透过率有很大影响,其通过改变薄膜组分而影响透过率...
关键词：射频磁控溅射 硼碳氮薄膜 傅里叶变换红外光谱 透过率 
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