方之颢

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发文主题：磁制冷材料FE合金组织结构X磁熵变更多>>
发文领域：一般工业技术金属学及工艺更多>>
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工作气压对磁控溅射法制备硼碳氮薄膜结晶度的影响(英文)
《世界科技研究与发展》2008年第6期694-696,共3页龚恩乐 刘镒 方之颢 于杰 
本文用六方氮化硼和石墨靶材采用射频(频率为13.56 MHz)磁控溅射法沉积硼碳氮薄膜,得到的硼碳氮薄膜可用红外,拉曼表征。工作气压从0.2 Pa升高到6.0 Pa。我们可以观察到工作气压可以明显的改变硼碳氮薄膜的晶体结构和结晶度。硼碳氮薄...
关键词：硼碳氮薄膜 射频磁控溅射 工作气压 结晶度 半高宽 
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