化学气相沉积  

出　　处：《金属热处理》2011年第7期83-83,共1页Heat Treatment of Metals

摘　　要：利用气态物质在固态工件表面进行化学反应、生成固态沉积层的过程,称为化学气相沉积（Chemical VaporDeposition,CVD）。化学气相沉积有3个要点：①涂层的形成是通过气相化学反应完成的;②涂层的形核及长大是在基体表面进行的；

关 键 词：化学气相沉积 气相化学反应 工件表面 气态物质 基体表面 沉积层 固态 涂层 

分 类 号：O484.1[理学—固体物理]