电磁型微马达的微转子研究  

Study on Microrotor of Micro Electromagnetic Motor

作　　者：杨春生[1] 赵小林[1] 丁桂甫[1] 余晋岳[1] 

机构地区：[1]上海交通大学信息存储研究中心薄膜与微细技术教育部开放实验室,上海200030

出　　处：《微细加工技术》1999年第4期47-50,46,共5页Microfabrication Technology

摘　　要：简要介绍了直径２ｍ ｍ 电磁型微马达的结构和磁路。对微转子的设计和加工，多微磁极的写（ 充） 入和均匀性进行分析和讨论。测量了不同充磁条件下的微转子剩余磁化强度和微转子之间的吸力。The structure and magnetic circuit of micro electromagnetic motor with 2mm in diameter were introduced.The design,fabrication,magnetization and magnetic pole distribution of micro rotor were analyzed and discussed.The remanent magnetizability and magnetic force of micro rotor were measured under different magnetization

关 键 词：微电机 微转子 充磁 微机电系统 电磁型 

分 类 号：TM38[电气工程—电机] TP271.4[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]