粉末冶金靶材的制备与应用  

作　　者：罗俊锋[1] 

机构地区：[1]北京有色金属研究总院有研亿金新材料股份有限公司

出　　处：《中国金属通报》2011年第31期40-41,共2页China Metal Bulletin

摘　　要：粉末冶金工艺是制备难熔金属、陶瓷和多元合金溅射靶材的重要方法,本文首先对粉末冶金的制备方法进行了总结,并进一步针对靶材的特性分析了粉末冶金制备的控制问题,最后对粉末冶金靶材的主要应用领域进行了阐释。

关 键 词：粉末冶金工艺 制备方法 金靶材 应用 难熔金属 溅射靶材 多元合金 控制问题 

分 类 号：TG174.4[金属学及工艺—金属表面处理]