罗俊锋

作品数：8被引量：54H指数：4
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供职机构：北京有色金属研究总院更多>>
发文主题：溅射靶材钌靶材金属高纯更多>>
发文领域：金属学及工艺冶金工程一般工业技术化学工程更多>>
发文期刊：《材料热处理学报》《粉末冶金工业》《材料导报》《中国金属通报》更多>>
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真空热压烧结对高纯W-Si合金靶材性能影响被引量：3
《稀有金属材料与工程》2014年第6期1403-1406,共4页丁照崇 何金江 罗俊锋 李勇军 熊晓东 
以高纯W-Si合金粉（〉99．995％）为原料，采用真空热压烧结工艺制备高纯W-Si合金靶材。研究烧结温度、热压压力、保温时间等工艺条件对靶材密度、微观组织性能的影响。结果表明，烧结温度在1350-1380℃，热压压力25～30MPa，保温时间1...
关键词：高纯W-Si合金 磁控溅射靶材 真空热压烧结 
高纯贵金属靶材在半导体制造中的应用与制备技术被引量：26
《贵金属》2013年第S01期79-83,共5页何金江 陈明 朱晓光 罗俊锋 尚再艳 贺昕 熊晓东 
2012年国家科技支撑计划项目(2012BAE06B06;2012BAE06B07)资助
高纯Au、Ag、Pt、Ru贵金属及其合金溅射靶材是半导体PVD工艺制程中的溅射源材料,广泛用于半导体制造工艺中,成为保证半导体器件性能和发展半导体技术必不可少及不可替代的材料。材料的高纯化、高性能贵金属及其合金靶材的制备(金属熔铸...
关键词：金属材料 半导体 溅射靶材 高纯 金 银 铂 钌 
钌金属溅射靶材烧结工艺研究被引量：17
《粉末冶金工业》2012年第1期28-31,共4页罗俊锋 丁照崇 董亭义 何金江 王欣平 江轩 
采用热压、放电等离子烧结及直接热压等粉末冶金工艺制备了钌金属溅射靶材,通过对致密度、晶粒度与氧含量分析研究了工艺过程对钌金属靶材制备的影响,并对比分析了三种方法制备钌靶的特点。结果表明:通过工艺优化利用三种方法均能制备...
关键词：钌 溅射靶材 热压烧结 放电等离子烧结 直接热压 
高纯Ag变形及退火后的微观组织被引量：5
《材料热处理学报》2012年第1期80-83,共4页董亭义 万小勇 罗俊锋 高岩 王欣平 
研究了压缩变形及退火热处理对高纯Ag(99.99%)微观组织的影响。结果表明,高纯Ag铸锭模锻后,经570℃×2 h退火可消除铸态组织,屈服强度约为66 MPa,随应变的增加应力明显增加;然后经道次变形量20%,总变形量85%的变形,退火温度为360℃时间...
关键词：高纯Ag 微观组织 变形 退火 
垂直磁记录介质Co-50Fe10Ta5Zr合金高温塑性变形行为研究被引量：1
《热加工工艺》2011年第24期66-68,72,共4页董亭义 罗俊锋 万小勇 王欣平 
研究了铸造Co-50Fe10Ta5Zr合金在高温的塑性变形行为。结果表明,随加热温度的升高和应变速率的减小,该合金由脆性转变成塑性。当温度为1200℃,两火热轧,应变速率为1.2 s-1时,道次变形量为5%,总变形量为20%的工艺进行热轧制加工,可减少铸...
关键词：铸造 FeCoTaZr合金 热模拟 塑性变形 热轧 
粉末冶金靶材的制备与应用被引量：6
《中国金属通报》2011年第31期40-41,共2页罗俊锋 
粉末冶金工艺是制备难熔金属、陶瓷和多元合金溅射靶材的重要方法,本文首先对粉末冶金的制备方法进行了总结,并进一步针对靶材的特性分析了粉末冶金制备的控制问题,最后对粉末冶金靶材的主要应用领域进行了阐释。
关键词：粉末冶金工艺 制备方法 金靶材 应用 难熔金属 溅射靶材 多元合金 控制问题 
热处理对Al-Cu合金电导率的影响被引量：2
《材料导报》2011年第20期11-14,共4页罗俊锋 王欣平 万小勇 何金江 朱晓光 江轩 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2008AA031802)
通过电导率测量、硬度分析和金相组织观察,研究了不同热处理工艺对Al-4.0%Cu(质量分数,下同)合金电导率的影响,分析了析出相、合金硬度和电导率之间的关系。实验结果表明,Al-4.0%Cu合金的电导率主要受基体中Cu固溶度和析出相状态的影响...
关键词：AL-CU合金 溅射靶材 热处理 显微组织 电导率 
稀贵金属在磁记录靶材中的应用被引量：4
《中国科技信息》2011年第18期50-50,共1页罗俊锋 
铂与钌金属作为磁记录靶材中重要的稀贵金属,随着磁记录靶材的发展用量逐渐增加。本文概述了磁记录靶材市场的发展状况,并阐述了铂与钌相关靶材的应用与制备方法。
关键词：磁记录靶材 COCRPT Ru靶 
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