朱晓光

作品数：6被引量：44H指数：3
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供职机构：北京有色金属研究总院更多>>
发文主题：高纯靶材溅射靶材半导体制造金属材料更多>>
发文领域：金属学及工艺一般工业技术冶金工程电子电信更多>>
发文期刊：《有色金属（冶炼部分）》《贵金属》《稀有金属》《材料导报》更多>>
所获基金：国家科技支撑计划国家高技术研究发展计划更多>>
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超高纯银静态再结晶组织演变规律的研究被引量：4
《材料导报》2014年第6期97-100,共4页朱晓光 刘书芹 万小勇 董亭义 王永辉 熊晓东 
国家科技支撑计划(2012BAE06B00)
采用超高纯银（纯度高于99.999％）铸锭,通过轧制变形,结合后续不同热处理工艺,研究了变形量、退火温度及时间对超高纯银回复及再结晶组织的影响.结果表明：超高纯银的再结晶温度非常低,在100℃时保温5 min后即发生再结晶,并且再结晶速...
关键词：超高纯银 变形量 退火温度 再结晶 
高纯贵金属靶材在半导体制造中的应用与制备技术被引量：26
《贵金属》2013年第S01期79-83,共5页何金江 陈明 朱晓光 罗俊锋 尚再艳 贺昕 熊晓东 
2012年国家科技支撑计划项目(2012BAE06B06;2012BAE06B07)资助
高纯Au、Ag、Pt、Ru贵金属及其合金溅射靶材是半导体PVD工艺制程中的溅射源材料,广泛用于半导体制造工艺中,成为保证半导体器件性能和发展半导体技术必不可少及不可替代的材料。材料的高纯化、高性能贵金属及其合金靶材的制备(金属熔铸...
关键词：金属材料 半导体 溅射靶材 高纯 金 银 铂 钌 
镍的电子束熔炼提纯研究被引量：10
《稀有金属》2013年第1期116-122,共7页尚再艳 张涛 陈明 朱晓光 刘红宾 何金江 
国家科技部"十二五"国家科技支撑计划项目(2012BAE06B00)资助
高纯镍是制造半导体集成电路及微电子行业用电子薄膜材料的原材料。采用电子束熔炼方法制备高纯镍,研究了一次和二次电子束熔炼对高纯镍锭纯度、表面质量和内部铸造缺陷的影响。通过对铸锭宏观形貌的观察和杂质含量的化学分析,发现一次...
关键词：电子束 熔炼 高纯镍 提纯 
热处理对Al-Cu合金电导率的影响被引量：2
《材料导报》2011年第20期11-14,共4页罗俊锋 王欣平 万小勇 何金江 朱晓光 江轩 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2008AA031802)
通过电导率测量、硬度分析和金相组织观察,研究了不同热处理工艺对Al-4.0%Cu(质量分数,下同)合金电导率的影响,分析了析出相、合金硬度和电导率之间的关系。实验结果表明,Al-4.0%Cu合金的电导率主要受基体中Cu固溶度和析出相状态的影响...
关键词：AL-CU合金 溅射靶材 热处理 显微组织 电导率 
铝硅焊片对异种铝合金电子束焊接焊缝组织性能的影响被引量：2
《有色金属（冶炼部分）》2011年第7期30-34,共5页贾松青 江轩 何金江 朱晓光 陈明 
国家高技术研究发展计划(863计划)重大项目(2008AA031802)
采用电子束焊接技术,研究厚度为20 mm的AlCu0.5,AlSiCu,AlSi1三种高纯铝合金分别与6061铝合金的焊接效果。通过添加铝硅焊片来改善异种铝合金焊接的组织性能。对焊缝区域组织的分析表明,不同焊片添加量改变铝合金焊缝中的Si含量,从而对...
关键词：金属材料 异种铝合金 电子束焊接 铝硅焊片 裂纹 
高纯Al-0.5%Cu合金的轧制织构被引量：1
《有色金属》2011年第2期6-9,共4页万小勇 江轩 王欣平 程明 朱晓光 
采用取向分布函数(ODF)研究轧制形变量对高纯A l-0.5%Cu合金织构的影响。结果表明,30%轧制变形量主要有{112}<351>,50%时{114}<110>织构,70%时出现了较强的铜式织构{211}<111>和{111}纤维织构,在形变量达到90%后,由于出现了剪切力,织构...
关键词：金属材料 Al-0.5%Cu合金 轧制变形 取向 织构 
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