李勇军

作品数：10被引量：90H指数：4
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供职机构：北京有色金属研究总院更多>>
发文主题：溅射靶材微波炉半导体集成电路制造集成电路更多>>
发文领域：金属学及工艺一般工业技术电子电信冶金工程更多>>
发文期刊：《理化检验（物理分册）》《热加工工艺》《稀有金属材料与工程》《中国有色金属学报》更多>>
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超高纯CuMn合金材料微观组织和织构演变研究被引量：6
《稀有金属》2017年第2期120-125,共6页关冲 何金江 曾浩 万小勇 李勇军 
北京市科技新星项目(Z1511000003150102)资助
当前超大规模集成电路(ULSI)的特征尺寸已经步入纳米范围,随着特征尺寸的减小,铜互连面临着严重的可靠性问题,采用合金化手段可有效抑制晶界附近的电迁移。因而本文主要研究超高纯铜锰合金材料,通过金相(OM)、电子背散射衍射(EBSD)等分...
关键词：铜锰合金 溅射靶材 织构 微观组织 
真空热压烧结对高纯W-Si合金靶材性能影响被引量：3
《稀有金属材料与工程》2014年第6期1403-1406,共4页丁照崇 何金江 罗俊锋 李勇军 熊晓东 
以高纯W-Si合金粉（〉99．995％）为原料，采用真空热压烧结工艺制备高纯W-Si合金靶材。研究烧结温度、热压压力、保温时间等工艺条件对靶材密度、微观组织性能的影响。结果表明，烧结温度在1350-1380℃，热压压力25～30MPa，保温时间1...
关键词：高纯W-Si合金 磁控溅射靶材 真空热压烧结 
半导体用高利用率长寿命溅射靶材的研制被引量：9
《半导体技术》2014年第1期71-77,共7页何金江 万小勇 周辰 李勇军 熊晓东 王兴权 
国家科技重大专项资助项目(2011ZX02705-004;2014ZX02501-011)
半导体制造工艺中使用的高纯金属溅射靶材的利用率直接关系到靶材自身的使用寿命和芯片制作的成本，在靶材研制中需要重点关注。以晶圆制造中广泛应用的高纯铝、铜等靶材为例，介绍了溅射靶材的发展演变，并以靶材使用前后轮廓测量为基...
关键词：溅射靶材 半导体 靶材设计 利用率 长寿命 
钴再结晶退火的研究被引量：3
《热加工工艺》2013年第4期182-183,187,共3页范亮 尚再艳 黄志勇 李勇军 何金江 
在较大热轧变形量的情况下,研究了工业纯钴在两种不同退火冷却方式下,不同退火温度的金相组织和硬度,同时对样品进行了XRD分析。结果发现,冷却方式对显微硬度有异常影响,确定了工业纯钴的再结晶温度,也对空冷情况下显微硬度异常变化的...
关键词：钴 退火工艺 再结晶温度 显微硬度 
PtW超细丝的制备工艺及显微结构研究被引量：2
《稀有金属》2005年第4期461-464,共4页闫琳 李勇军 欧阳莉莉 闫俊联 杨永刚 
通过配制PtW中间合金的方法确保了成分的均匀性,通过合理的热锻及冷加工工艺,并配以中间热处理,成功制备出Φ10μm及Φ8μm的PtW超细丝材,且单根超细丝的长度可达到45m以上。显微结构分析表明:PtW合金在铸态时为典型的包晶组织,初生相...
关键词：PtW合金 超细丝 中间合金 
集成电路制造用溅射靶材被引量：47
《稀有金属》2005年第4期475-477,共3页尚再艳 江轩 李勇军 杨永刚 
北京市科学技术委员会专项基金资助项目(D0405001040431)
溅射靶材常用于半导体产业、记录媒体产业和先进显示器产业。在不同产业中,半导体集成电路制造业对溅射靶材的质量要求最高。对用于集成电路制造的溅射靶材的材质类型、纯度要求、外形发展进行了阐述,并讨论了溅射靶材微观组织对溅射薄...
关键词：集成电路 溅射 靶材 半导体 
银粉的用途和制备被引量：23
《中国粉体技术》2001年第3期45-47,共3页何发泉 李勇军 
综述了银粉用途和制备方法与国内外研究现状 。
关键词：银粉 用途 制备 电子工业 物理方法 化学方法 
微波炉溶样N_2O-AAS法测定金锗和金锗锑合金中的锗
《中国有色金属学报》1998年第S2期372-373,共2页杨萍 李勇军 周岭 
采用微波炉密闭溶解金锗、金锗锑合金试样后，经冰柜快速冷却，用N2O-AAS法测定其中的锗。试样的分析结果表明本方法具有良好的精密度和回收率。
关键词：金锗合金 金锗锑合金 微波炉 N2O-AAS法. 
溅射靶材NiCr40合金金相试样的制备被引量：1
《理化检验（物理分册）》1996年第4期35-36,共2页张兴维 李勇军 王永兰 张宝珍 丁瑞鑫 
介绍一种能快速显示NiCr40合金真实组织的机械抛光-电解浸蚀法。在显微镜下对该合金各种状态的组织进行了观察分析,并与同类进口材料的显微组织进行对比观察。
关键词：机械抛光 电解浸蚀 显微组织 镍铬合金 
NiCr_（40）合金再结晶的研究被引量：2
《稀有金属》1996年第1期64-66,共3页张兴维 李勇军 王永兰 张宝珍 丁瑞鑫 
ＮｉＣｒ_（４０）合金再结晶的研究张兴维，李勇军，王永兰，张宝珍，丁瑞鑫（北京有色金属研究总院１０００８８）关键词：ＮｉＣｒ_（４０），再结晶组织ＮｉＣｒ４０合金是制备集成电路网络电阻薄膜用溅射靶材。从相图［１］上看出...
关键词：再结晶 组织 镍铬合金 
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