高分辨率投影光刻机光瞳整形技术  

Pupil Shaping Techniques in High Resolution Projection Exposure Tools

作　　者：胡中华[1,2] 杨宝喜[1] 朱菁[1] 肖艳芬[1,2] 曾爱军[1] 黄立华[1] 赵永凯[1] 黄惠杰[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室,上海201800 [2]中国科学院研究生院,北京100049

出　　处：《激光与光电子学进展》2011年第11期38-45,共8页Laser & Optoelectronics Progress

基　　金：国家科技重大专项项目(2009ZX02205-001)资助课题

摘　　要：在高分辨光学光刻技术中,光瞳整形技术针对不同的掩模图形产生特定的光瞳光强分布模式,从而实现分辨力增强,获得更好的成像性能。概述了高分辨率投影光刻机照明系统中基于衍射光学元件(DOE)、微透镜阵列(MLA)和微反射镜阵列(MMA)的3种光瞳整形技术,并对这些技术的工作原理、设计制作方法和性能特点进行了归纳与总结。In the high resolution optical lithography technology, illumination pupil shaping is employed to enhance the lithography resolution and achieve high imaging performance by using various illumination modes according to different mask structures. In this paper, three approaches of pupil shaping techniques based on diffractive optical element （DOE）, micro lens array （MLA） and micro mirror array （MMA） are summarized. The principles, design and manufacturing methods are concluded.

关 键 词：光学制造 光刻 离轴照明 光瞳整形 衍射光学元件 微透镜阵列 微反射镜阵列 

分 类 号：O43[机械工程—光学工程] TN305.7[理学—光学]