微细加工技术与设备  

出　　处：《中国光学》2008年第2期96-97,共2页Chinese Optics

关 键 词：能动磨盘 分辨力增强技术 相位掩模 技术与设备 光电工程 投影光刻机 微细加工 反射峰 深度光刻 相移掩模 

分 类 号：TG66[金属学及工艺—金属切削加工及机床]