光电探测技术及器件  

出　　处：《中国光学》1996年第4期74-75,共2页Chinese Optics

摘　　要：TN29 96042616InP系波导和光电探测器单片集成=Monolithicintegration of InP optical waveguide and photodetector[刊,中]/杨易,陈兴国,程宗权,王惠民,吕章德,蒋惠英,王晨,施惠英,吴学海(中科院上海冶金所.上海(200233)),朱祖华(浙江大学电信系.浙江,杭州(310008))∥半导体学报.—1996,17(1).—51—

关 键 词：光电探测器 单片集成 光电头 位置敏感探测器 器件工艺 浙江大学 半导体 注入光敏器件 探测技术 测角系统 

分 类 号：TN29[电子电信—物理电子学]