六氟化钨的应用及产业前景  

Application and Prospect of Tungsten Hexafluoride

作　　者：王占卫[1] 张长金[1] 柳彤[1] 纪振红[1] 

机构地区：[1]中国船舶重工集团公司第七一八研究所,河北邯郸056027

出　　处：《舰船防化》2011年第6期45-48,共4页

摘　　要：六氟化钨是钨的氟化物中唯一稳定且被工业化应用的品种,它在电子工业、化学气相沉积技术、材料工业等领域应用广泛,本文主要介绍了六氟化钨的性质及应用,并且对六氟化钨产业的发展前景进行了概述。Tungsten hexafluoride, a unique stable fluoride, is chemical vapor deposition （CVD） technology and material fields. of tungsten hexafluoride were introduced. In the meanwhile hexafluoride was also reviewed. widely applied in electronic industry, In this paper, the property and application the prospect of industry of tungsten

关 键 词：六氟化钨 化学气相沉积 应用 

分 类 号：TQ163.13[化学工程—高温制品工业]